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刘冰杰
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
上海市科学技术委员会资助项目
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
顾杰斌
中国科学院上海微系统与信息技术...
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
杨恒
中国科学院上海微系统与信息技术...
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顾杰斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:喷嘴 液态金属 紧贴 微孔 通孔
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所获资助
研究领域
李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
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