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王乃强
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1
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供职机构:
中国科学院
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电子电信
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洗鼎昌
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刘金声
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伊福廷
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晋明
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晋明
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 夹钳 掩模 微细加工 聚甲基丙烯酸甲酯
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洗鼎昌
供职机构:中国科学院
研究主题:LIGA技术 掩模制造 掩模
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伊福廷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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刘金声
供职机构:中国科学院
研究主题:LIGA技术 掩模制造 掩模 钨 光电子学
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