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折宇
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2
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供职机构:
中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
黄鹤
中国航天科技集团公司第九研究院...
吴迪
中国航天科技集团公司第九研究院...
汪小军
中国航天科技集团公司第九研究院...
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自动化与计算...
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中国航天科技...
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吴迪
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:高温处理 晶圆片 膜厚监控 膜厚 外延膜
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汪小军
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 高温处理 硅片表面 光刻胶
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
黄鹤
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:高温处理 晶圆片 膜厚监控 膜厚 外延膜
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