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吴迪

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇圆片
  • 2篇外延膜
  • 2篇膜厚
  • 2篇膜厚监控
  • 2篇晶圆
  • 2篇晶圆片
  • 2篇高温
  • 2篇高温处理
  • 1篇底片
  • 1篇重掺杂

机构

  • 2篇中国航天科技...

作者

  • 2篇汪小军
  • 2篇吴迪
  • 2篇折宇
  • 2篇黄鹤

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种高精度外延膜厚监控片及其制备方法
本发明公开了一种高精度外延膜厚监控片及其制备方法，对使用过的晶圆片的表面进行处理，使其表面呈现裸硅状态；清洗；对清洗过的轻掺杂晶圆片进行处理使其生长氧化层；进行N型或P型杂质注入；进行高温处理；进行表面处理，使其表面呈现...
折宇汪小军吴迪黄鹤
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一种高精度外延膜厚监控片及其制备方法
本发明公开了一种高精度外延膜厚监控片及其制备方法，对使用过的晶圆片的表面进行处理，使其表面呈现裸硅状态；清洗；对清洗过的轻掺杂晶圆片进行处理使其生长氧化层；进行N型或P型杂质注入；进行高温处理；进行表面处理，使其表面呈现...
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