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汪小军

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 3个自动化与计算...

主题

  • 4个氧化层
  • 4个离子
  • 4个离子注入
  • 4个光刻
  • 4个光刻胶
  • 4个硅片
  • 4个硅片表面
  • 4个剥落
  • 4个超薄
  • 4个超薄氧化
  • 4个超薄氧化层
  • 3个底片
  • 3个圆片
  • 3个重掺杂
  • 3个外延膜
  • 3个膜厚
  • 3个膜厚监控
  • 3个晶圆
  • 3个晶圆片
  • 3个高温

机构

  • 7个中国航天科技...

地区

  • 7个陕西省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
吴迪
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：高温处理 晶圆片 膜厚监控 膜厚 外延膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
利阳
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付鹏
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄鹤
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：高温处理 晶圆片 膜厚监控 膜厚 外延膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
折宇
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：高温处理 晶圆片 膜厚监控 膜厚 外延膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李宁
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张思申
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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