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郭春华

作品数：4 被引量：9H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 3个机械工程
  • 1个经济管理
  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个一般工业技术

主题

  • 3个氮化镓
  • 3个兆声清洗
  • 3个抛光
  • 3个抛光工艺
  • 3个平坦化
  • 3个晶片
  • 3个晶圆
  • 3个化学机械抛光
  • 3个化学机械平坦...
  • 3个机械抛光
  • 3个仿真
  • 2个电路
  • 2个运动仿真
  • 2个升降式
  • 2个湿法
  • 2个湿法腐蚀
  • 2个特征点
  • 2个通风
  • 2个通风设计
  • 2个排气

机构

  • 5个中国电子科技...

传媒

  • 5个电子工业专用...
  • 1个清洗世界
  • 1个城市建设（下...
共 5 条 记 录，以下是 1-5
吴光庆
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：工业设备 化学品 气液分离器 湿化学 CDS
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史霄
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP CMP技术 氮化镓 晶片
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祝福生
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：湿法 全自动 机械手 硅片 污染物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨师
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 集成电路 SEMI 半导体制造设备 抛光
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熊朋
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP技术 氮化镓 化学机械抛光 晶片 抛光工艺
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