祝福生
- 作品数：10 被引量：22H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程金属学及工艺经济管理更多>>
- 太阳能电池制造中化学浓度的预先控制介绍
- 2014年
- 太阳能电池的制造需要许多湿清洗步骤。制绒是这些步骤之一,这个阶段是非常重要的,用它可以确保单晶硅和多晶硅电池片的高效率。为了获得稳定和可循环使用的制造工艺,精确可靠的实时测量刻蚀成分主要针对太阳能电池片生产中化学液浓度的预先控制进行介绍。
- 冯小强祝福生关宏武宋文超
- 关键词：太阳能
- 工业泵在湿法腐蚀清洗设备中的应用被引量：4
- 2016年
- 介绍了几种常用泵的原理及在湿法腐蚀清洗设备中的典型应用。
- 祝福生郭春华夏楠君
- LED湿法清洗设备CDS设计被引量：6
- 2013年
- 介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案。
- 祝福生
- 关键词：双套管
- 全自动半导体RCA清洗机被引量：6
- 2013年
- RCA清洗工艺是一种在半导体制造过程中被广泛应用的工艺,是去除硅片表面各类玷污的有效方法。本文介绍了RCA清洗工艺的原理、过程以及应用,并详细介绍了全自动半导体RCA清洗机的组成、各单元结构及功能。
- 段成龙祝福生
- 关键词：化学清洗全自动设备
- 硅片湿法清洗工艺技术及设备发展趋势被引量：7
- 2011年
- 简要介绍了硅片湿化学清洗工艺技术及清洗设备结构技术,包括一些典型的槽体结构、干燥工艺技术等。并就清洗技术的发展需要,阐述未来清洗设备的发展趋势。
- 曹秀芳姚立新祝福生宋文超
- 关键词：硅片污染物
- 300mm全自动去胶清洗设备的研制被引量：2
- 2011年
- 介绍了一种全自动去胶清洗设备的结构技术,主要从工艺槽体溶液均匀性实现等方面阐述槽体结构。经用户使用证明:该系统运行稳定可靠,工艺灵活,清洗工艺先进。适用150～300 mm晶圆片的去胶、腐蚀、清洗等工艺。
- 曹秀芳曹颖杰祝福生
- 关键词：机械手
- 基于无氰镀金工艺的溶液循环泵研究
- 2023年
- 在晶圆电化学沉积过程中,无氰镀金工艺对循环泵提出了更高要求,通过对比分析磁悬浮泵、磁力泵、风囊泵和隔膜泵特性及结构,磁悬浮泵镀液循环脉动小,液流平稳,泵头不会发生金属沉积现象,因此无氰镀金溶液循环常采用磁悬浮泵作为动力源。
- 魏红军谢振民祝福生
- 一种晶硅太阳能电池片自动制绒设备被引量：1
- 2011年
- 本文简要介绍了太阳能电池行业的现状和晶硅太阳能电池片的制绒工艺原理。分项阐述了太阳能电池片自动制绒清洗机的主要结构和功能设计。重点说明了设备的重要组成部件制绒槽和机械手的设计要点。通过解决工艺生产实践中遇到的问题，将设备改进得更加完善。
- 赵永进祝福生冯小强
- 关键词：太阳能电池表面织构机械手
- 湿法工艺设备高温化学液的直排技术研究
- 2021年
- 湿法工艺设备中经常使用到具有强腐蚀性的强酸类高温化学液,例如160℃的SPM、270℃的H_(2)SO_(4)+H_(3)PO_(4)混合液等。普通的排放方式无法实现高温化学液直接排放。先自然降温再排放的方式换液时间长,各种辅助降温方式,都存在着不足和安全隐患,降温效果不甚理想。以虹吸原理和射流泵理论为基础,通过理论计算、场强模拟,提出两种适用于高温、强腐蚀性化学液直接排放的技术:一种是设计气虹吸吸液器,验证关键尺寸喉嘴距,最终实现了湿法工艺设备中的高温化学液直排到副槽,在副槽内降温后,排放至专用回收管路。另一种是设计水虹吸泵,通过实验验证关键尺寸,实现湿法工艺设备中的高温化学液直接降温排放至化学液回收管路。两种直排方式都可以有效地缩短高温化学液的换液时间,提高生产效率。
- 吴娖祝福生赵宝君秦亚奇安稳鹏
- 全自动高温湿法刻蚀设备的研制
- 2015年
- 介绍了高温湿法刻蚀设备在LED芯片制造中图形化衬底制备工艺(PSS)及激光正切后侧边腐蚀工艺两方面的应用;论述了高温强酸刻蚀湿法设备组成、结构及单元模块的功能。
- 祝福生段成龙
- 关键词：干法刻蚀湿法刻蚀
