冯小强
- 作品数：8 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程机械工程经济管理更多>>
- SAT与SST在半导体清洗工艺中的应用
- 2014年
- 针对芯片制造商对设备低投入高产出的要求,介绍了能将多种工艺集成在一起的工作台SAT(喷酸系统)与SST(喷雾溶剂系统),详细介绍了其工作原理及特点,并与清洗机+甩干机传统清洗及刻蚀方式进行了详细对比,根据厂商实际使用效果,可以看出这两种集成工作台可以有效降低成本,提高生产效率。
- 关宏武冯小强段成龙宋伟峰舒福璋
- 关键词：SATSST刻蚀
- 太阳能电池制造中化学浓度的预先控制介绍
- 2014年
- 太阳能电池的制造需要许多湿清洗步骤。制绒是这些步骤之一,这个阶段是非常重要的,用它可以确保单晶硅和多晶硅电池片的高效率。为了获得稳定和可循环使用的制造工艺,精确可靠的实时测量刻蚀成分主要针对太阳能电池片生产中化学液浓度的预先控制进行介绍。
- 冯小强祝福生关宏武宋文超
- 关键词：太阳能
- 全自动太阳能制绒设备的工艺浅谈
- 2011年
- 全自动太阳能制绒设备的工艺对电池片非常重要,通过与厂家合作研究所得的工艺数据为基础,对制绒设备的工艺进行简单总结,并针对工艺对设备进行不断的完善与改进。
- 冯小强陈平赵永进关宏武舒福璋
- 关键词：太阳能电池
- 单晶圆兆声清洗技术研究及兆声喷头方案优化被引量：4
- 2011年
- 基于单晶圆兆声清洗的原理,分析了针对单晶圆兆声清洗的多种方案的优缺点,提出了适合单晶圆兆声清洗的优化方案。
- 刘永进杜建科冯小强
- 关键词：单晶圆
- 气动增压泵在单片晶圆清洗过程中的应用被引量：1
- 2011年
- 主要分析了气动增压泵的组成和工作原理,描述了气动增压泵在单片晶圆清洗过程中的应用特点和优势。介绍了气动增压泵在应用过程中的控制方法和选用注意事项。
- 杜建科刘永进冯小强
- 一种晶硅太阳能电池片自动制绒设备被引量：1
- 2011年
- 本文简要介绍了太阳能电池行业的现状和晶硅太阳能电池片的制绒工艺原理。分项阐述了太阳能电池片自动制绒清洗机的主要结构和功能设计。重点说明了设备的重要组成部件制绒槽和机械手的设计要点。通过解决工艺生产实践中遇到的问题，将设备改进得更加完善。
- 赵永进祝福生冯小强
- 关键词：太阳能电池表面织构机械手
- 半导体化学清洗沾污来源分析被引量：2
- 2014年
- 随着半导体工艺的不断发展,其对设备颗粒度的要求越来越高,文章分析了沾污产生的原因及出处,并对各种沾污进行了分析,并指出了解决方向,在很大程度上指导了半导体生产和研发环境的建立及完善。
- 关宏武段成龙冯小强宋伟峰舒福璋
- 关键词：沾污化学吸附静电
- 太阳跟踪装置被引量：3
- 2010年
- 太阳能作为一种无污染、可持续发展的新兴能源,已经引起世界各国的广泛关注,只有充分提高光照的利用率,才能最大限度的利用太阳能。提出一种简易的太阳跟踪装置,该装置采用双轴联动,齿轮传动,能够实时有效地对太阳进行跟踪。
- 冯小强宋伟峰宋婉贞赵永进
- 关键词：太阳能齿轮传动
