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杜建科

作品数：2 被引量：5H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶圆
  • 1篇兆声清洗
  • 1篇喷头
  • 1篇晶圆

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇刘永进
  • 2篇杜建科
  • 2篇冯小强

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
单晶圆兆声清洗技术研究及兆声喷头方案优化被引量：4
2011年
基于单晶圆兆声清洗的原理,分析了针对单晶圆兆声清洗的多种方案的优缺点,提出了适合单晶圆兆声清洗的优化方案。
刘永进杜建科冯小强
关键词：单晶圆
气动增压泵在单片晶圆清洗过程中的应用被引量：1
2011年
主要分析了气动增压泵的组成和工作原理,描述了气动增压泵在单片晶圆清洗过程中的应用特点和优势。介绍了气动增压泵在应用过程中的控制方法和选用注意事项。
杜建科刘永进冯小强
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共1页<1>
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