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赵金波
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杭州士兰集成电路有限公司
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电子电信
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合作作者
杨彦涛
杭州士兰集成电路有限公司
曹俊
杭州士兰集成电路有限公司
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李云飞
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杨彦涛
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研究主题:沟槽 功率器件 功率半导体器件 半导体 接触孔
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曹俊
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王维建
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研究主题:外延层 离子注入 耗尽型 沟道 掩膜
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江宇雷
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研究主题:形貌 半导体器件 刻蚀 测试仪 氧化层
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李云飞
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研究主题:沟槽 功率器件 半导体 分次 过渡区
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王平
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研究主题:外延层 功率半导体器件 沟槽 导电类型 掺杂
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王铎
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研究主题:掺杂 发射区 二氧化硅 过渡区 调结构
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李立文
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研究主题:硅片 光刻设备 光刻工艺 光刻版 沟槽
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刘琛
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研究主题:MEMS器件 外延层 发射区 介质层 硅片
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季锋
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研究主题:空腔 牺牲层 MEMS器件 半导体 衬底
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