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季峰
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杭州士兰集成电路有限公司
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合作作者
刘琛
杭州士兰集成电路有限公司
李立文
杭州士兰集成电路有限公司
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刘琛
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:MEMS器件 外延层 发射区 介质层 硅片
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李立文
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:硅片 光刻设备 光刻工艺 光刻版 沟槽
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