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贺欣
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供职机构:
中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
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单光宝
中国航天科技集团公司第九研究院...
孙有民
中国航天科技集团公司第九研究院...
李翔
中国航天科技集团公司第九研究院...
杜欣荣
中国航天科技集团公司第九研究院...
刘松
中国航天科技集团公司第九研究院...
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李翔
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV 绝缘工艺 芯片面积 绝缘层 SOI衬底
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孙有民
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研究主题:TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
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单光宝
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杜欣荣
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刘松
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
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