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李晓飞

作品数：11 被引量：0H指数：0
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合作作者

领域

  • 1个化学工程
  • 1个机械工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个电子电信

主题

  • 3个排废
  • 3个晶圆
  • 2个药液
  • 2个涂胶
  • 2个排风
  • 2个片盒
  • 2个全自动
  • 2个显影
  • 2个显影液
  • 1个单片
  • 1个弹簧
  • 1个导轨
  • 1个电机
  • 1个电路
  • 1个电子显微镜
  • 1个叠放
  • 1个顶架
  • 1个循环水
  • 1个药品
  • 1个液罐

机构

  • 3个沈阳芯源微电...

资助

  • 1个国家科技重大...

传媒

  • 1个中国机械工程

地区

  • 3个辽宁省
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王冲
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：光刻胶 晶片 半导体行业 光刻工艺 工艺过程
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耿克涛
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶圆 金属回收 承片台 药液 弹簧
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魏猛
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体晶片 涂胶 显影 晶片 晶圆
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