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耿克涛

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

主题

  • 4篇晶圆
  • 3篇金属回收
  • 3篇回收
  • 2篇弹簧
  • 2篇叠放
  • 2篇药液
  • 2篇全自动
  • 2篇夹持机构
  • 2篇夹持器
  • 2篇胶液
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇承片台
  • 1篇排废
  • 1篇排风
  • 1篇接口
  • 1篇金属
  • 1篇贵金属

机构

  • 5篇沈阳芯源微电...

作者

  • 5篇耿克涛
  • 2篇李晓飞
  • 2篇汪钢

年份

  • 1篇2019
  • 3篇2017
  • 1篇2015
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构
本发明属于半导体晶圆清洗领域，具体地说是一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构，包括夹持器、顶针及升降气缸，夹持器为多个、沿离心机单元中承片台的边缘均布，离心机单元中机壳外安装有数量与夹持器数量相等的升降气缸，每个升降气缸的输出...
耿克涛李晓飞
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一种撕金去胶工艺的金属回收系统
本发明涉及一种金属回收系统，具体地说是一种撕金去胶工艺的金属回收系统。包括单元腔体、一级过滤系统及二级过滤系统，其中一级过滤系统设置于单元腔体内，用于金属的初步回收；所述二级过滤系统包括废液金属回收装置和废气金属回收装置...
耿克涛
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一种晶圆撕金去胶清洗装置
本发明涉及一种晶圆加工设备，具体地说是一种晶圆撕金去胶清洗装置，包括浸泡单元、对中盒站单元、去胶单元、清洗单元、机器人和工作台，机器人设置于工作台中部，各个单元环设于所述机器人周围，设置于机器人同一侧的去胶单元和清洗单元...
耿克涛汪钢
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一种晶圆撕金去胶清洗装置
本发明涉及一种晶圆加工设备，具体地说是一种晶圆撕金去胶清洗装置，包括浸泡单元、对中盒站单元、去胶单元、清洗单元、机器人和工作台，机器人设置于工作台中部，各个单元环设于所述机器人周围，设置于机器人同一侧的去胶单元和清洗单元...
耿克涛汪钢
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一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构
本发明属于半导体晶圆清洗领域，具体地说是一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构，包括夹持器、顶针及升降气缸，夹持器为多个、沿离心机单元中承片台的边缘均布，离心机单元中机壳外安装有数量与夹持器数量相等的升降气缸，每个升降气缸的输出...
耿克涛李晓飞
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