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李晓飞

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇中文专利

主题

  • 9篇半导体
  • 8篇半导体行业
  • 7篇晶圆
  • 4篇光刻
  • 4篇光刻工艺
  • 4篇承片台
  • 2篇单作用
  • 2篇弹簧
  • 2篇真空
  • 2篇筒体
  • 2篇涂胶
  • 2篇排液
  • 2篇翘曲
  • 2篇全自动
  • 2篇显影
  • 2篇显影液
  • 2篇接入口
  • 2篇晶圆清洗
  • 2篇缓冲器
  • 2篇夹持

机构

  • 11篇沈阳芯源微电...

作者

  • 11篇李晓飞
  • 4篇王冲
  • 2篇魏猛
  • 2篇耿克涛

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2014
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种承载翘曲晶圆的装置及其承载方法
本发明涉及半导体行业冷板单元晶圆承载装置，具体地说是一种承载翘曲晶圆的装置及其承载方法，装置包括气缸、连接臂、吸盘、顶针、缓冲器及缓冲器安装板，连接臂的一端与气缸的输出端相连，由气缸驱动升降，连接臂的另一端连接有缓冲器安...
李晓飞魏猛
文献传递
一种胶杯自动清洗的方法
本发明属于半导体行业光刻工艺中的旋转涂胶技术领域，具体地说是一种胶杯自动清洗的方法。所述方法是在涂胶平台上设有胶杯和胶臂，所述胶臂上设有多个涂胶胶嘴，各涂胶胶嘴分别与一路胶管连接，所述胶臂上还设有清洗喷嘴，所述清洗喷嘴通...
李晓飞王冲
文献传递
一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构
本发明属于半导体晶圆清洗领域，具体地说是一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构，包括夹持器、顶针及升降气缸，夹持器为多个、沿离心机单元中承片台的边缘均布，离心机单元中机壳外安装有数量与夹持器数量相等的升降气缸，每个升降气缸的输出...
耿克涛李晓飞
文献传递
一种自动清洗晶圆时夹持晶圆边缘的装置及其夹持方法
本发明涉及用于半导体行业晶圆清洗时的夹持设备，具体地说是一种自动清洗晶圆时夹持晶圆边缘的装置及其夹持方法，装置中的晶圆承片台与中空轴电机的输出端密封连接，在晶圆承片台上表面沿圆周方向均布有多个支撑晶圆边缘的垫柱，晶圆承片...
李晓飞
文献传递
旋转显影真空管路中的简易气液分离装置
本发明属于半导体行业光刻工艺基本步骤中的旋转显影过程领域，具体地说是一种旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，包括筒体、筒盖及活动塞，筒体的一端与筒盖密封连接，另一端开有排液口，活动塞插设在排液口内，通过活动塞沿筒体轴向...
李晓飞王冲
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一种晶圆对中机构
本发明涉及半导体设备晶圆传送过程中的晶圆对中机构，包括吸盘支撑及安装在该吸盘支撑上的吸盘；吸盘的下方设有夹持气缸，夹持气缸两侧的输出端分别连接有对中块，两侧的对中块上分别均布有多个柱塞弹簧对中组件；柱塞弹簧对中组件包括柱...
李晓飞孙元斌
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旋转显影真空管路中的简易气液分离装置
本发明属于半导体行业光刻工艺基本步骤中的旋转显影过程领域，具体地说是一种旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，包括筒体、筒盖及活动塞，筒体的一端与筒盖密封连接，另一端开有排液口，活动塞插设在排液口内，通过活动塞沿筒体轴向...
李晓飞王冲
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一种承载翘曲晶圆的装置及其承载方法
本发明涉及半导体行业冷板单元晶圆承载装置，具体地说是一种承载翘曲晶圆的装置及其承载方法，装置包括气缸、连接臂、吸盘、顶针、缓冲器及缓冲器安装板，连接臂的一端与气缸的输出端相连，由气缸驱动升降，连接臂的另一端连接有缓冲器安...
李晓飞魏猛
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一种胶杯自动清洗的方法
本发明属于半导体行业光刻工艺中的旋转涂胶技术领域，具体地说是一种胶杯自动清洗的方法。所述方法是在涂胶平台上设有胶杯和胶臂，所述胶臂上设有多个涂胶胶嘴，各涂胶胶嘴分别与一路胶管连接，所述胶臂上还设有清洗喷嘴，所述清洗喷嘴通...
李晓飞王冲
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一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构
本发明属于半导体晶圆清洗领域，具体地说是一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构，包括夹持器、顶针及升降气缸，夹持器为多个、沿离心机单元中承片台的边缘均布，离心机单元中机壳外安装有数量与夹持器数量相等的升降气缸，每个升降气缸的输出...
耿克涛李晓飞
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