您的位置: 专家智库 > >

领域

  • 15个电子电信
  • 13个自动化与计算...
  • 11个文化科学
  • 10个金属学及工艺
  • 10个电气工程
  • 9个一般工业技术
  • 7个经济管理
  • 7个矿业工程
  • 7个理学
  • 6个交通运输工程
  • 5个化学工程
  • 2个机械工程
  • 2个建筑科学
  • 1个生物学
  • 1个天文地球
  • 1个石油与天然气...
  • 1个冶金工程
  • 1个水利工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个环境科学与工...

主题

  • 17个退火
  • 16个热退火
  • 16个离子注入
  • 15个离子
  • 14个导体
  • 14个堆叠
  • 13个淀积
  • 11个氮化
  • 11个氮化硅
  • 11个电极
  • 11个电路
  • 10个等离子体
  • 9个单晶
  • 9个电场
  • 7个等离子
  • 7个低应力
  • 7个电压
  • 6个单片
  • 6个导电
  • 6个等离子体刻蚀

机构

  • 18个中国科学院微...
  • 4个清华大学
  • 1个湖南大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个中国科学技术...
  • 1个中国科学院微...
  • 1个中国科学院大...

资助

  • 6个国家科技重大...
  • 5个国家自然科学...
  • 3个国家重点基础...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个中国科学院“...
  • 1个北京市科技新...
  • 1个广东省自然科...
  • 1个国家社会科学...
  • 1个广东省科技计...
  • 1个国家电网公司...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个湖南省普通高...
  • 1个中国科学院科...
  • 1个中国科学院战...
  • 1个重庆市教育委...
  • 1个重庆市自然科...

传媒

  • 7个真空科学与技...
  • 6个微纳电子技术
  • 5个微电子学
  • 4个半导体技术
  • 4个中国科技成果
  • 3个Journa...
  • 2个电子世界
  • 2个微电子学与计...
  • 2个传感技术学报
  • 2个电子元件与材...
  • 2个科技创新导报
  • 2个智能电网(汉...
  • 2个第十二届全国...
  • 2个第十七届全国...
  • 1个现代化工
  • 1个电讯技术
  • 1个传感器技术
  • 1个电气时代
  • 1个电子与信息学...
  • 1个建筑知识

地区

  • 18个北京市
18 条 记 录,以下是 1-10
李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘金彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 掺杂 衬底 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王垚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掺杂 热退火 沟道 衬底 半导体器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王桂磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 衬底 载流子迁移率 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张琦辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掺杂 半导体器件 热退火 超浅结 氧化物薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张浩
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:正交频分 正交频分复用 压缩采样 OFDM系统 柔性衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐强
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 栅极 衬底 金属栅极 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共2页<12>
聚类工具0