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郭本银

作品数:71 被引量:10H指数:2
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金:国家科技重大专项更多>>
相关领域:自动化与计算机技术机械工程交通运输工程理学更多>>

领域

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地区

  • 14个吉林省
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15 条 记 录,以下是 1-10
金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丽萍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周烽
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢耀
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 极紫外光刻 极紫外 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辉
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海涛
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 点衍射干涉仪 光学元件 面形误差 面形检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苗亮
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形检测 非球面 面形误差 干涉仪 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王君
供职机构:中国科学院
研究主题:极紫外光刻 掩模 光学系统 极紫外 多层膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘钰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形检测 表面等离子体共振 面形误差 表面等离子体 非球面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于杰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 面形检测 点衍射干涉仪 面形误差 光学元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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