您的位置： 专家智库 > >

周烽

作品数：106 被引量：15H指数：2
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程文化科学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 95篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 4篇会议论文

领域

  • 17篇自动化与计算...
  • 8篇机械工程
  • 3篇电子电信
  • 3篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 43篇光学
  • 35篇光学元件
  • 25篇面形
  • 13篇六自由度
  • 12篇光刻
  • 9篇组件
  • 8篇复现性
  • 8篇干涉仪
  • 6篇装调
  • 6篇面形检测
  • 6篇极紫外
  • 6篇闭环
  • 6篇次镜
  • 5篇热应力
  • 5篇装配过程
  • 5篇紫外光刻
  • 5篇微缩
  • 5篇面形精度
  • 5篇极紫外光刻
  • 5篇感器

机构

  • 106篇中国科学院长...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 106篇周烽
  • 84篇王辉
  • 75篇王丽萍
  • 74篇金春水
  • 57篇谢耀
  • 49篇郭本银
  • 12篇于杰
  • 12篇李强
  • 11篇王君
  • 9篇刘钰
  • 9篇苗亮
  • 7篇马冬梅
  • 5篇张海涛
  • 5篇张文龙
  • 4篇郑琪峰
  • 3篇王辉
  • 2篇彭忠琦
  • 2篇龚学鹏
  • 2篇卢启鹏
  • 2篇王依

传媒

  • 4篇中国激光
  • 3篇光学精密工程
  • 2篇第四届全国信...

年份

  • 3篇2023
  • 5篇2022
  • 14篇2021
  • 6篇2020
  • 4篇2019
  • 8篇2018
  • 20篇2017
  • 23篇2016
  • 5篇2015
  • 5篇2014
  • 4篇2013
  • 9篇2012
共 106 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种光学检测平台及光学检测方法
本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及一种光学检测平台，包括第一平台、第二平台、固定装置、升降模块；所述第一平台，用于放置被检光学元件或干涉装置；所述第二平台，用于放置干涉装置或光学元件，所述第二平台中心位置设置有通孔；所...
金春水马冬梅于杰周烽张海涛
文献传递
一种用于真空环境下的光学元件水冷装置
一种用于真空环境下的光学元件水冷装置，属于真空环境下光学元件的热变形控制技术领域，涉及一种用于真空环境下的光学元件水冷装置。本发明能够解决真空环境下光学元件的散热问题，同时能够使光学元件更快的达到热平衡。本发明包括背部压...
周烽王辉郭本银谢耀王丽萍金春水
文献传递
一种测量方法
本发明适用于物镜系统相对位置关系的测量领域，公开了一种测量方法，用于测量物镜系统元件的相对位置，物镜系统包括主框架、组件框架和元件，测量方法包括以下步骤：建立组件框架坐标系与主框架坐标系的相对位置关系；建立元件坐标系与组...
李渊明王辉周烽金春水
文献传递
一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置
一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置属于高精度光学元件精密支撑技术领域，目的在于解决现有技术存在的装配过程中的干扰因素对面形影响严重，摩擦系数大，不能满足超高精度面形要求的问题。本发明包括凸台、n组主柔性支撑结构单...
王辉周烽郭本银谢耀王丽萍
五自由度调整装置
本发明五自由度调整装置，属于光学检测技术领域，解决了现有的多自由度调整装置会造成误差积累、且重量增加、占据空间大的技术问题；本发明包括X向运动平台、Y向运动平台、基座平台、多个球头螺杆、多个导向块组件和多组高度调整组件；...
郭本银王辉周烽王丽萍谢耀金春水
文献传递
微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法
微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法，涉及光学系统检测领域，解决现有微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位的准确率低且存在工作量大，操作过程复杂等问题，采用三坐机上对主镜和次镜的反射面轮廓进行测量，获得主镜和次...
谢耀周烽王丽萍王辉郭本银张文龙金春水
一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置
一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置属于高精度光学元件精密支撑技术领域，目的在于解决现有技术装配过程中的干扰因素对面形影响严重，摩擦系数大的问题。本发明包括支撑盘、凸台、凸台压板、凸台紧固螺母、柔性支撑主体结构、蝶形...
王辉周烽郭本银谢耀王丽萍
文献传递
一种磁悬浮支撑装置
本发明公开了一种磁悬浮支撑装置，包括：支撑盘及设置于支撑盘上的光学元件，光学元件上设有若干第一连接端，支撑盘上设有与第一连接端对应的若干第二连接端，每个第一连接端与其对应的第二连接端之间通过磁浮机构支撑，第一连接端与第二...
王辉周烽王丽萍李渊明金春水
文献传递
一种物像面定位系统以及定位方法
本发明公开了一种物像面定位系统以及物像面定位系统的定位方法。所述物像面定位系统包括：物镜系统，测量塔，定位板，检焦系统，调整机构，辅助折光镜，测量设备；所述物镜系统与所述测量塔装配在一起；所述测量塔上设置有三个位移传感器...
周烽王辉郭本银谢耀王丽萍
文献传递
一种在线测试光学元件激光损伤的方法及装置
本发明公开了一种在线测试光学元件激光损伤的方法装置。该方法包括以下步骤：产生激光，并辐照到光学元件的表面；对激光辐照到光学元件的表面后激发出的荧光信号进行荧光成像，以形成荧光图像，并且收集激光辐照光学元件的表面时所激发的...
邓文渊金春水靳京城李春周烽
文献传递
全选 清除 导出
共11页<12345678910>
聚类工具0