王丽萍
- 作品数：147 被引量：123H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金吉林省科技发展计划基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种用于极紫外光刻的类临界照明系统
- 用于极紫外光刻的类临界照明系统属于极紫外光刻系统中的临界照明系统领域，该系统包括聚光系统、中继系统、光刻系统真空箱体和波纹管，聚光系统包括光源、聚光主镜、聚光系统次镜、去屑系统和聚光系统真空箱体，去屑系统沿光路布置在光源...
- 王君王丽萍金春水谢耀周烽
- 文献传递
- 一种光机系统结构稳定性评估方法
- 2016年
- 为了评估光机结构的长期稳定性,提出了一种偏移量解算的稳定性评估方案。首先进行数学建模,通过敏感矩阵建立了光机结构偏移量与系统波像差变化量的关系式,并给出了基于奇异值分解的偏移量求解方法。然后以微缩投影系统为研究对象,建立了敏感矩阵,在奇异值分解的基础上分析了像差奇异值向量与结构参数奇异值向量的对应关系。通过在实际搭建的微缩投影系统中人为引入偏移量,并与理论解算值进行对比,验证了方案的可行性。最后对系统长期稳定性进行了测试,为后续的结构优化提供了指导。
- 郭本银谢耀于杰王丽萍苗亮
- 关键词：奇异值分解
- 一种独立支撑单元以及光学元件支撑装置
- 本发明公开了一种独立支撑单元以及光学元件支撑装置。本发明的独立支撑单元包括一种独立支撑单元，所述独立支撑单元包括：胶层、胶层支座、弹性元件、调整螺钉；所述调整螺钉设置在所述胶层支座上并从所述胶层支座上伸出；所述弹性元件套...
- 王辉周烽郭本银谢耀王丽萍金春水
- 文献传递
- 用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统
- 用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，涉及一种光学系统，解决现有补偿器光学系统存在设计残差，进而引入非共光路的测量误差，导致非球面面形检测精度低的问题，包括透射组、补偿组和待检非球面凸镜，所述透射组透射球面波，补偿组...
- 王丽萍张海涛马冬梅
- 文献传递
- 点衍射干涉仪波前参考源标定算法的研究被引量：7
- 2012年
- 为了提高双光纤点衍射干涉仪的检测精度,需要对干涉仪装置中两个波前参考源(WRS)的系统误差进行标定。设计了波前参考源的标定过程及标定算法,通过沿被检光学系统光轴四次旋转90°求出波前参考源的沿轴旋转非对称误差,沿倾斜轴四次旋转90°求出波前参考源的沿倾斜轴旋转非对称误差,然后利用两者之差采用最小二乘法求出波前参考源的旋转对称误差,将对称误差和非对称误差相累加求出波前参考源的系统误差。采用计算机模拟了标定算法的整个流程,当波前参考源沿光轴和倾斜轴旋转的旋转公差在±1°范围内时,采用36项泽尼克多项式进行标定的测试误差均方根值小于0.01nm,在标定精度允许的范围内。通过模拟验证了标定算法的正确性并给出波前参考源的旋转公差范围。
- 张宇金春水马冬梅王丽萍
- 可实现光学元件主动面形控制的支撑装置
- 可实现光学元件主动面形控制的支撑装置，属于光学元件高复现性干涉检测技术领域，涉及一种可实现光学元件主动面形控制的支撑装置。本发明能够控制柔性铰链在精密装配过程以及实际使用过程中的形状，实现主动控制光学元件面形的目的，进而...
- 王辉周烽郭本银谢耀王丽萍金春水
- 文献传递
- 光学系统波像差检测装置
- 光学系统波像差检测装置，涉及光学测量技术领域，它解决现有光学系统波像差检测装置在移相过程中存在偏摆误差和横移误差的问题，本发明的分光系统出射的两束共光路的正交线偏振光经过第二偏振分光棱镜分光，参考光和测试光经过第一耦合透...
- 金春水王丽萍张宇
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- 极紫外光刻系统中与杂散光有关的镜面加工误差分析方法
- 极紫外光刻系统中与杂散光有关的镜面加工误差分析方法，属于光学设计仿真分析领域，解决了在极紫外光刻系统中与杂散光紧密相关的扩展中频粗糙度摄取无统一测量标准或求解方法而导致镜面加工误差分析较低的问题。该方法为：初始暗岛尺寸的...
- 王君王丽萍金春水谢耀
- 文献传递
- 变步长搜索的计算全息图编码方法被引量：4
- 2021年
- 基于计算全息图(Computer-Generated Hologram,CGH)的非球面检测技术通过控制衍射光相位来生成所需要的参考波前,从而实现非球面的零位检测,近年来,该技术已经发展成为非球面的主流检测技术。对于CGH编码,采用传统编码方法实现高精度编码,其数据量往往高达几十甚至上百GB。因此,为同时确保编码精度高及编码数据量小,本文提出了一种变步长CGH编码方法。该方法首先通过寻找等相位面的方法得到CGH条纹分布,然后通过计算相位分布梯度选取不同的取样步长,使CGH能利用尽可能少的点实现高精度编码。利用变步长搜索的编码方法进行编码并制作了CGH对非球面样品进行检测,检测结果为3.142 nm(RMS)。为验证检测结果可信度,本文设计并制作了补偿器对同一非球面进行检测,其检测结果为3.645 nm(RMS)。对两检测结果点对点做差,RMS值为1.291 nm,结果表明该编码方法可满足非球面高精度检测需求。
- 邱宏伟金春水于杰刘钰张海涛王丽萍王丽萍
- 关键词：计算全息图非球面检测
- 一种同步检测装置
- 本申请提供一种同步检测装置，包括：激光相移干涉成像系统、生物样品池和光学耦合系统、表面增强拉曼散射检测系统、表面等离子体共振检测系统、转台系统和控制系统；通过控制系统调整转台系统，不仅能够进行表面增强拉曼散射检测，还能够...
- 刘钰于杰张海涛王丽萍谢耀
- 文献传递
