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赵新安
作品数:
6
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H指数:1
供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
谭淞生
中国科学院上海冶金研究所上海微...
王渭源
中国科学院上海冶金研究所上海微...
张熙
中国科学院上海冶金研究所上海微...
苏毅
中国科学院上海冶金研究所上海微...
谢雷鸣
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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王渭源
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
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谭淞生
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜
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苏毅
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微齿轮 齿轮 多晶硅 微机械加工 硅
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研究领域
张熙
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅片 物理过程 齿轮 微机械加工 微齿轮
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王善鹤
供职机构:复旦大学
研究主题:传感器 测试系统 半导体器件 开关 温度特性
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陈建民
供职机构:中国科学院上海冶金研究所
研究主题:YBA 超导体 超导薄膜 钇 红外光谱
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谢雷鸣
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:YBA 超导薄膜 超导体 钇 离子束溅射
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赵永刚
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:超导体 YBA X BIS 钇
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