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薛惠琼

作品数：10 被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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共 13 条 记 录，以下是 1-10
欧毅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦斌斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：平面阵列 非制冷红外成像 焦平面阵列 芯片 红外成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何伟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：非制冷红外 PN结 红外探测器阵列 单晶硅 探测器阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
明安杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 红外光源 图形化 金属电极 光开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玮冰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 自测试 压阻传感器 压阻 红外光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘瑞文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：芯片 非制冷红外成像 平面阵列 红外成像 散热
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张强
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS IRFPA PN结二极管 非制冷 红外焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯影
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 二极管 读出电路 微弱信号
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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