焦斌斌
- 作品数：169 被引量：72H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 用于提高非制冷红外焦平面阵列器件性能的制作方法
- 一种用于提高非制冷红外焦平面阵列器件性能的制作方法，步骤如下：在双抛光<100>硅基片双表面淀积上氮化硅薄膜和下氮化硅薄；在下氮化硅薄膜上光刻、刻蚀，形成背面阵列腐蚀窗口图形；府蚀减薄硅基片，形成倒梯形缺口；...
- 石莎莉陈大鹏李超波焦斌斌欧毅叶甜春
- 文献传递
- 光－机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列
- 一种用于获取并转换红外信号的光－机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列，包括按阵列分布的微悬臂梁单元，微悬臂梁单元中包含热变形结构和红外吸收板，热变形结构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧。整个微悬臂梁单元为侧向支撑的无...
- 李超波焦斌斌陈大鹏叶甜春
- 文献传递
- 一种多芯片散热的匀温控制系统及其制备方法
- 本发明公开一种多芯片散热的匀温控制系统及其制备方法，涉及微电子散热技术领域。所述多芯片散热的匀温控制系统包括：散热结构、可控主动散热模块、多芯片、温度传感单元和外围电路控制模块；所述温度传感单元，用于获取所述多芯片的实时...
- 孔延梅从波焦斌斌刘瑞文贾昆鹏
- 基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展被引量：2
- 2007年
- 在分析原子力显微镜工作原理的基础上,详细介绍了各种基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件的应用进展,并展望了悬臂梁微尖端器件的发展前景。
- 傅剑宇陈大鹏焦斌斌欧毅景玉鹏董立军叶甜春
- 关键词：原子力显微镜悬臂梁
- 基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关被引量：3
- 2007年
- RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构,能够解决静电RFMEMS现有的缺陷。
- 刘茂哲景玉鹏李全宝焦斌斌黄钦文李超波欧毅陈大鹏叶甜春
- 关键词：射频微机械开关静电驱动
- 一种芯片散热封装结构和电子设备
- 本发明提供了一种芯片散热封装结构和电子设备，涉及散热技术领域，以解决热量传输路径较长，导致传热热阻较大，降低芯片散热效率，影响芯片工作性能的问题。该芯片散热封装结构包括组装后具有容纳空间的第一承载件和封装壳体。芯片第一面...
- 孔延梅王杰焦斌斌刘瑞文叶雨欣
- 一种集成电路结构及其制造方法、半导体器件
- 本发明公开了一种集成电路结构的制造方法，包括步骤：提供第一晶片，第一晶片上形成有第一电路结构及其上的第一顶层钝化层；提供第二晶片，第二晶片的第一表面上形成有对准标记；在第二晶片上形成第二电路结构的第二掺杂区；将第二晶片的...
- 焦斌斌
- 一种可见-红外双通摄像机
- 本发明公开了可见-红外双通摄像机，包括：成像设备、红外光路通路、可见光光路通路、FPA芯片、可见光读取光路和光学接收器；成像设备包括：可见-红外成像物镜镜头，可见-红外成像物镜镜头包括：分光器件；成像设备将分光器件分光得...
- 孔延梅焦斌斌陈大鹏
- 文献传递
- MEMS器件的腐蚀与释放
- 2006年
- 以硅微机械FP腔器件为代表,该器件采用了标准的硅表面加工工艺,分析了此类具有悬空结构的MEMS器件在进行牺牲层的腐蚀和最终的结构释放过程中的各种问题.根据所遇到问题的不同情况对器件的设计和工艺流程进行了改进,并通过实验验证了其可行性.
- 欧毅石莎莉李超波焦斌斌陈大鹏
- 关键词：MEMS牺牲层
- 光学读出非制冷红外成像的最新进展被引量：11
- 2007年
- 针对以前红外成像中红外图像的噪声等效温度差(NETD)较大和空间分辨率不高的问题,本文在制作工艺改善的基础上,设计了一个单元尺寸分别是50μm×50μm和60μm×60μm的红外焦平面阵列(FPA),它是由0.5μm厚的SiNx和0.2μm厚的Au构成的双材料微悬臂梁阵列构成。微梁单元倾斜角的变化利用在谱平面刀口滤波的光学方法测量。FPA是利用基于体硅的表面微加工工艺制作的,利用制作的FPA的60μm×60μm单元区域和12bitCCD,得到了室温物体的热像。讨论了60μm×60μm单元区域的性能,给出了NETD在100mK左右。和以前的工作相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善。
- 董凤良焦斌斌张青川陈大鹏缪正宇熊志铭
- 关键词：非制冷红外成像光学读出焦平面阵列
