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王文荣
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
李铁
中国科学院上海微系统与信息技术...
周玉修
中国科学院上海微系统与信息技术...
梁晨
中国科学院上海微系统与信息技术...
谢晓明
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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周玉修
供职机构:九江学院理学院
研究主题:化学气相沉积 衬底 盖板 光学读出 各向异性腐蚀
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梁晨
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 硫掺杂 衬底 半导体工艺 惰性气体
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冯飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
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谢晓明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 SQUID 磁传感器 读出电路 超导
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霍建琴
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:温差
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戈肖鸿
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
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