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梁晨

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇中文专利

主题

  • 10篇石墨
  • 10篇石墨烯
  • 6篇硫掺杂
  • 6篇掺杂
  • 6篇衬底
  • 4篇气体
  • 4篇气相沉积
  • 4篇化学气相
  • 4篇化学气相沉积
  • 4篇惰性气体
  • 4篇半导体
  • 4篇半导体工艺
  • 2篇氮氧化物
  • 2篇等离子处理
  • 2篇硬质
  • 2篇柔性衬底
  • 2篇气体传感
  • 2篇气体传感器
  • 2篇气相
  • 2篇气相沉积法

机构

  • 10篇中国科学院

作者

  • 10篇李铁
  • 10篇王跃林
  • 10篇梁晨
  • 4篇王文荣
  • 2篇郭联峰

年份

  • 3篇2017
  • 3篇2016
  • 4篇2014
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种将石墨烯转移到柔性衬底的方法
本发明公开了一种将石墨烯转移到柔性衬底上的方法。该方法包括如下步骤：在附着石墨烯的原衬底上涂胶并烘干使胶固化成为柔性衬底；将固化的柔性衬底与硬质衬底进行键合；采用化学腐蚀液腐蚀原衬底；用去离子水反复清洗石墨烯/柔性衬底/...
梁晨李铁王文荣王跃林
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一种对石墨烯进行硫掺杂的方法
本发明提供一种对石墨烯进行硫掺杂的方法，包括步骤：1）提供石墨烯，将所述石墨烯置于化学气相沉积反应腔中；2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3）于500~1050℃下通入硫源气体对所述石墨烯进行硫掺杂；4）于...
梁晨李铁王跃林
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基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器
本实用新型提供一种基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器，包括：微加热器平台衬底及硫掺杂石墨烯；所述微加热器平台衬底上设有测试电极及加热器；所述硫掺杂石墨烯至少覆盖所述测试电极。本实用新型的基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传...
李铁郭联峰梁晨王跃林
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一种将石墨烯转移到具有PDMS过渡层硬质衬底上的方法
本发明公开了一种将石墨烯转移到具有PDMS过渡层硬质衬底上的方法。该方法包括以下步骤：将PDMS胶涂在附着有石墨烯的原衬底上；使所述PDMS胶固化成PDMS过渡层；对该PDMS过渡层与硬质衬底进行等离子处理，然后将该PD...
李铁梁晨王文荣王跃林
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一种将石墨烯转移到具有PDMS过渡层硬质衬底上的方法
本发明公开了一种将石墨烯转移到具有PDMS过渡层硬质衬底上的方法。该方法包括以下步骤：将PDMS胶涂在附着有石墨烯的原衬底上；使所述PDMS胶固化成PDMS过渡层；对该PDMS过渡层与硬质衬底进行等离子处理，然后将该PD...
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基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器及其制备方法
本发明提供一种基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器及其制备方法，包括以下步骤：1）提供石墨烯及微加热器平台衬底，将石墨烯转移至微加热器平台衬底上；2）将表面覆盖有石墨烯的微加热器平台衬底置于化学气相沉积反应炉中；3）采用...
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一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法
本发明提供一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法，包括步骤：1）提供一金属衬底，将该金属衬底置于化学气相沉积反应腔中；2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3）于第一温度下对所述反应腔通入氢气，以对所述金...
李铁梁晨王跃林
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一种将石墨烯转移到柔性衬底的方法
本发明公开了一种将石墨烯转移到柔性衬底上的方法。该方法包括如下步骤：在附着石墨烯的原衬底上涂胶并烘干使胶固化成为柔性衬底；将固化的柔性衬底与硬质衬底进行键合；采用化学腐蚀液腐蚀原衬底；用去离子水反复清洗石墨烯/柔性衬底/...
梁晨李铁王文荣王跃林
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一种对石墨烯进行硫掺杂的方法
本发明提供一种对石墨烯进行硫掺杂的方法，包括步骤：1）提供石墨烯，将所述石墨烯置于化学气相沉积反应腔中；2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3）于500~1050℃下通入硫源气体对所述石墨烯进行硫掺杂；4）于...
梁晨李铁王跃林
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一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法
本发明提供一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法，包括步骤：1）提供一金属衬底，将该金属衬底置于化学气相沉积反应腔中；2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3）于第一温度下对所述反应腔通入氢气，以对所述金...
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