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王学亮
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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张巍
中国科学院长春光学精密机械与物...
巩岩
中国科学院长春光学精密机械与物...
赵磊
中国科学院长春光学精密机械与物...
倪明阳
中国科学院长春光学精密机械与物...
袁文全
中国科学院长春光学精密机械与物...
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张巍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:镜框 光学元件 投影光刻物镜 像差 投影物镜
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巩岩
供职机构:中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 投影物镜 光学设计 显微物镜
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赵磊
供职机构:大连理工大学
研究主题:光学元件 镜框 投影光刻物镜 像差 微动
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倪明阳
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 镜框 投影物镜 光刻物镜
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袁文全
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:投影物镜 光学元件 光刻物镜 镜框 调整装置
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李佩玥
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:压电陶瓷 电容传感器 压电陶瓷驱动 压电驱动器 压电陶瓷驱动器
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郑楠
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:压电陶瓷驱动器 压电驱动器 抛光液 数字信号传输 VME总线
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杨怀江
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 投影物镜 光学检测
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隋永新
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 光学检测 光学加工
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崔洋
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:数字信号传输 光学制造 抛光液 气体 环境控制
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