袁文全
- 作品数：25 被引量：59H指数：4
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 高精度物镜波纹管致动器的线性度分析
- 2011年
- 采用有限元方法对高精度物镜波纹管致动器的几何非线性变形进行了分析,并引入线性度对波纹管致动器的性能进行了评估.通过有限元方法分析了常见的U型、S型、C型、方型及三角型波纹管的几何非线性变形,并结合最小二乘法,得到了上述各种波纹管致动器的行程及线性度.计算结果表明:在设计大行程波纹管致动器时,S型波纹管的线性度最好,为0.161%;而在设计小行程波纹管致动器时,三角形波纹管的线性度最好,为0.135%.
- 袁文全巩岩张巍王学亮倪明阳赵磊
- 关键词：气动波纹管有限单元法
- 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置
- 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决了光刻投影物镜镜头的高精度自动装配、检测、调整问题。本发明装置包括Z轴立柱、上检测立柱、上检测头、可动调整平台、气浮转台、水平大理石平...
- 巩岩张巍倪明阳赵磊王学亮袁文全
- 光机系统胶接结构非线性分析的线性简化处理被引量：1
- 2012年
- 为了研究光机系统胶接结构的力学性能,对胶接剂采用非线性分析的方法,可以很好的符合现实中的力学行为;采用线性分析方法,有着计算量少和技术成熟的优势。本文将首先对非线性计算进行理论分析,通过两种方法对WLF方程进行变换,化简本构方程对时间的二重积分,得到了应力同温度、载荷作用时间以及不同处理方法的理论解。通过和线性有限元解进行比较,得到了通过改变线性分析中的应变量为非线性分析应变量的β倍,可以得到等同于非线性分析的结果,而β是同时间以及不同处理方法相关的。分别采用线性和非线性有限元方法对同一结构进行了分析,对理论进行了验证。通过对有限元分析结果的对比表明:采用本文的全值WLF简化处理方法,可以很好的将非线性分析转化为线性分析,而且二者的结果一致性符合一般工程应用。
- 刘玖巩岩杨洪波袁文全范磊
- 关键词：光机系统非线性粘弹性胶接剂
- 热扰动条件下投影物镜温度响应的高精度建模被引量：4
- 2013年
- 针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题,搭建了投影物镜温控实验平台;研究了实验平台的结构、激励信号设计、数据预处理方法和建模算法,建立了超高精度温度响应模型。首先,考虑光刻机对震动和洁净度的严格要求,设计了远距离串级水冷控制系统;进行了物镜温度的阶跃响应实验,采用两点法建立了物镜的温度响应传递函数(粗建模)。然后,根据获得的物镜阶跃响应传递函数,设计二位式伪随机辨识输入信号的参数,并采用分段线性化方法对输入输出数据进行预处理。最后,设计迭代最小二乘算法,辨识得到物镜的ARMAX温度响应模型(精建模)。基于该模型的物镜温控实验结果表明:在环境温度波动幅值达0.6℃并加入3 W的热扰动条件下,物镜温度稳态误差控制在±0.001℃以内,满足光刻机对投影物镜的超高精度温度控制要求。
- 秦硕巩岩于新峰袁文全彭海峰杨怀江
- 关键词：投影物镜伪随机信号系统辨识温度控制
- 绝对检验参考镜误差分析与热变形模型建立被引量：12
- 2011年
- 绝对检验是提高菲佐(Fizeau)型干涉仪参考面面形精度的重要方法。研究了过程中温度、重力和夹持力对绝对检验精度的影响。采用Gram-Schmidt拟合方法对参考面面形的变形量进行了拟合,分析了K9、融石英和微晶材料的参考镜均匀温度变化下的热变形及由于热变形导致的相应泽尼克(Zernike)系数的变化。最后,分析了变形量对应的面形误差,建立了每种材料的热变形模型。结果表明,经过重力、夹持力和温度三者的叠加耦合,温度变化产生的变形量与温度变化量仍呈近似的线性关系。在相同的外界条件下,融石英材料产生的整体变形量最小;而微晶材料产生的热变形量最小。微晶参考面由于热变形产生的面形变化量均方根为0.37 nm/℃。
- 陈旭袁文全冯玉涛王平刘伟奇
- 一种用于光学测量的积分球装置
- 一种用于光学测量的积分球装置，涉及光学测量技术领域，它解决现有积分球装置结构的对称性差、光源发热控制不力和采样口通光量不可调节的问题，本发明装置的第一半积分球球壳与第二半积分球球壳紧固在一起形成一个空心球壳；中心挡光板固...
- 巩岩倪明阳赵磊张巍王学亮袁文全
- 文献传递
- 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置
- 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决现有光刻投影物镜的加工制造过程中光学镜片的支撑由于受到装调力和加工误差的影响，降低镜片的面形精度的问题，该装置包括支座和镜框，镜片通过...
- 倪明阳巩岩张巍赵磊王学亮袁文全
- 文献传递
- 投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法
- 投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法，涉及一种光学元件重力补偿的装置及方法，它解决了现有光学元件重力补偿装置安装调试困难，制造成本高，无法实现光学元件的中心区域补偿等问题，它包括第一镜筒单元组件、第二镜筒单...
- 赵磊巩岩张巍倪明阳王学亮袁文全
- 文献传递
- 低应力光学结构胶恒温下固化应力大小分析被引量：3
- 2013年
- 基于光学中一种特殊的胶接模型,设计一种新的实验方案研究恒温下低应力光学结构胶固化过程中内应力随时间的变化,实验利用电测原理,通过监测固化过程中被粘物体(钢片)中心点的变形,反推胶的固化性质。本文先从理论上分析结构胶固化过程的规律,然后选取两种低应力光学结构胶3140RTV和UV295进行为期一周的测试,并对实验曲线进行了分析。此外,通过对实验模型做一些理论上的假设,并结合有限元软件计算结构胶残余应力对钢片的影响,进而比较出两种结构胶性能的好坏,该计算结果和实验曲线分析进一步阐述了实验设计的目的及意义。
- 廖家胜巩岩袁文全骆聪
- 关键词：有限元粘弹性
- 光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究被引量：10
- 2011年
- 为了对光刻物镜的像差进行补偿,设计了一种主动液体透镜,并分析了该主动液体透镜变形过程中的像差变化特性。用去离子水、氟化锂设计了一种主动液体透镜,在考虑重力及静水压力的情况下,分别计算了一点至六点均布、各点均匀施加载荷作用下镜片的变形;然后对变形镜片的挠度进行了Zernike多项式拟合,得到了各标准Zernike多项式系数所表示的像差与机械挤压力之间的函数关系。计算表明:主动液体透镜的各标准Zernike多项式系数值随受力大小呈强线性关系;除一点受力变形外,在多点受力变形情况下主动液体透镜像差的前三项均为piston,defocus及n-foil;主动液体透镜对piston项及defocus项这两种像差的调节能力随受力点的增加有增强趋势,而对其他类型像差的调节能力则呈下降趋势。
- 袁文全巩岩
- 关键词：主动光学自适应光学有限元法
