赵磊
- 作品数：113 被引量：142H指数：8
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术交通运输工程更多>>
- 光刻物镜中光学元件高精度支撑结构
- 光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻物镜中光学元件高精度支撑问题，本发明结构包括镜框和整体弹片，所述整体弹片与镜框之间通过若干螺钉固定；所述镜框内环周向均匀分布三处径...
- 赵磊巩岩于新峰彭海峰
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- 气动光学变形镜系统的控制方法
- 气动光学变形镜系统的控制方法，属于超精密光学应用控制领域。该方法先拟合系统开环情况下稳定时的输入和输出数据的线性关系，确定前馈控制器的前馈系数；然后根据该系统的期望位移计算前馈控制器的输出量；然后比较期望位移与位移传感器...
- 李朋志李佩玥赵磊东立剑葛川隋永新杨怀江
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- 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析
- 2015年
- 为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能力、刚体位移误差、固有频率及最大应力等性能。结果表明,主动变形镜在50 N驱动力作用下可以实现镜片表面面形均方根(RMS)837 nm Z5像散补偿,伴随产生的镜片表面高阶像差仅为RMS 1.124 nm,三个方向刚体平移仅为0.49、0.52、0.13 nm,三个方向的刚体旋转仅为2.21、1.73、1.10 ms,主动变形镜一阶固有频率达到2555 Hz,最大应力为0.852 MPa,满足光刻物镜像散补偿需求。
- 东立剑赵磊张德福于新峰倪明阳李显凌
- 关键词：成像系统主动光学像散补偿有限元分析
- 一种像散变形镜装置
- 一种像散变形镜装置属于光学系统的系统像差补偿领域，目的在于解决现有技术存在的加工制造困难和引入刚体位移大的问题。本发明包括光学元件、可变形镜框、四个致动器、四个位移传感器、上固定板和下固定板；光学元件与可变形镜框之间通过...
- 赵磊刘震宇谢军杨怀江隋永新张巍
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- 基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置
- 基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置属于精密微动调整与检测领域，目的在于解决现有技术存在的测量的重复定位精度差和长期稳定性差的问题。本发明包括调整架、压电驱动器和标定基准组件；所述压电驱动器固定在所述调整架...
- 赵磊杨怀江隋永新张德福
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- 高精度物镜波纹管致动器的线性度分析
- 2011年
- 采用有限元方法对高精度物镜波纹管致动器的几何非线性变形进行了分析,并引入线性度对波纹管致动器的性能进行了评估.通过有限元方法分析了常见的U型、S型、C型、方型及三角型波纹管的几何非线性变形,并结合最小二乘法,得到了上述各种波纹管致动器的行程及线性度.计算结果表明:在设计大行程波纹管致动器时,S型波纹管的线性度最好,为0.161%;而在设计小行程波纹管致动器时,三角形波纹管的线性度最好,为0.135%.
- 袁文全巩岩张巍王学亮倪明阳赵磊
- 关键词：气动波纹管有限单元法
- 一种投影物镜系统中光学元件调心装置
- 一种投影物镜系统中光学元件调心装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，本装置整体上可以看作投影光刻物镜系统的一个镜筒单元，可以分宏动调心模块和微动调心模块。宏动调整时，三个螺旋测微仪穿过镜筒、镜座作用在镜框外...
- 巩岩赵磊张巍倪明阳
- 气动微位移波纹管驱动器
- 本发明公开了一种气动微位移波纹管驱动器，属于精密机械技术领域。解决了现有技术中微位移控制驱动器高发热、低行程、占用空间大、污染环境等技术问题。该驱动器主要包括：法兰、驱动器外壳、驱动杆、快速接头、焊接波纹管、柔性铰链和球...
- 东立剑赵磊倪明阳李显凌张巍隋永新杨怀江
- 天马物流管理系统设计与实现
- 随着计算机技术、电子商务和社会媒体的快速发展，互联网已然成为与真实世界平行的另外一个世界，而物流信息化的力度也成为决定企业市场竞争能力十分重要的一个因素。用企业高品质的产品、优质的服务、良好的信誉树立企业在客户心目中的良...
- 赵磊
- 关键词：物流管理系统软件工程
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- 南京R集团公司绩效管理案例研究
- “所谓组织管理就是人力资源管理，最终展现出来的是组织绩效。”出自现代管理学大师德鲁克。那么一个企业的绩效管理好坏也直接决定了这个企业的经营状况。企业经营的目的就是为了创造利润，同时提高企业经营的活性，那么绩效管理就是最直...
- 赵磊
- 关键词：绩效管理人力资源管理
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