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林梓鑫
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家自然科学基金
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林成鲁
中国科学院上海微系统与信息技术...
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈猛
中国科学院上海微系统与信息技术...
邹世昌
中国科学院上海冶金研究所上海微...
周祖尧
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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陈猛
供职机构:清华大学
研究主题:SOI 注氧隔离 高温退火 低剂量 硅
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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周祖尧
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 硅 离子束 离子束增强沉积 P
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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柳襄怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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陈静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:晶体管 浮体效应 SOI 阈值电压 存储器单元
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沈勤我
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
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