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唐锋
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
王向朝
中国科学院研究生院
卢云君
中国科学院上海光学精密机械研究...
冯鹏
中国科学院上海光学精密机械研究...
郭福东
中国科学院上海光学精密机械研究...
李杰
中国科学院大学
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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卢云君
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 光栅 投影物镜
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冯鹏
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉图 干涉仪 波前传感器 分波 剪切
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郭福东
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉仪 子孔径拼接 运动控制器 波像差 电机驱动器
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李杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 投影物镜 剪切干涉 剪切干涉仪 子孔径拼接
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徐世福
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:夹具 俯仰 光栅尺 光学元件 光学实验
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戴凤钊
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 波像差 光栅 波前 剪切干涉
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吴飞斌
供职机构:中国科学院
研究主题:剪切干涉仪 剪切干涉 波像差 子孔径拼接 面形
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刘洋
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光纤激光器 激光器 望远镜 相干合成 光谱数据
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李永
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:子孔径拼接 剪切干涉仪 波像差 剪切干涉 面形
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