冯鹏
- 作品数：43 被引量：21H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 光栅剪切干涉光学元件缺陷检测装置与检测方法
- 一种光栅剪切干涉光学元件缺陷检测装置与检测方法，检测装置包括光纤、分束镜、第一准直透镜、被测样品组、光阑、第二准直透镜、光栅剪切干涉波前传感器和平移调节台。本发明具有能够测量光学元件反射或透射相位缺陷或者缺陷的相位信息，...
- 冯鹏唐锋王向朝
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- 可补偿光程差的光纤相移装置
- 一种可补偿光程差的光纤相移装置，包括底座、分别固定在该底座两端的第一光纤耦合器模块和第二光纤耦合器模块，第一光纤耦合器模块和第二光纤耦合器模块相互准直，第一光纤耦合器模块包括第一光纤传输线、第一五自由度加旋转调整光纤耦合...
- 冯鹏唐锋王向朝
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- 感光芯片不同入射角响应度测量装置及测量方法
- 一种感光芯片不同入射角响应度的测量装置及测量方法，测量装置包括准直激光器、光衰减器、带感光芯片相机、旋转位移台。采用上述测量装置测量待测感光芯片不同入射角的响应度。本发明具有结构简单，易实现的特点，能快速有效的测量感光芯...
- 冯鹏唐锋王向朝
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- 点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法
- 一种点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法，干涉仪的构成包括：光源、第一分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、点光源发生单元、理想波前发生单元、待测光学系统、精密调节台、小孔光窗器件、第二分光器、二...
- 唐锋王向朝冯鹏
- 光学成像系统倍率与畸变高精度测量装置及测量方法
- 本发明公开了一种光学成像系统倍率与畸变高精度测量装置，包括至少两个点光源、面阵探测器、物方工作台、像方工作台，其中：由物方工作台承载的两个点光源位于待测光学成像系统的物方视场内，出射光来自同一光源并可相互干涉；而由像方工...
- 董冠极唐锋王向朝冯鹏彭常哲严焱
- 基于改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法
- 本发明涉及一种基于圆形透光区域改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法。该波前传感器包括衍射元件、探测器，其中，衍射元件是由棋盘型相位光栅与透光区域为圆形的振幅光栅所组成的混合光栅，在用于四波前剪切干涉时，具有比目前广泛使...
- 彭常哲唐锋王向朝冯鹏李鹏严焱
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- 光栅剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法
- 本发明涉及一种光栅剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法。该标定装置包括点光源显微聚焦系统、待标定的光栅剪切干涉波前传感器和位移调节装置；点光源经显微聚焦系统后成像于待标定波前传感器的探测面。该剪切量标定方法，通过记录...
- 彭常哲唐锋王向朝冯鹏李鹏刘洋
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- 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析被引量：9
- 2014年
- 在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用范围的基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式;对其大小与被测数值孔径(NA)、衍射光会聚点间距d、剪切率s之间的关系进行了定量分析。几何光程彗差和像散、探测器倾斜像散和离焦是剪切干涉差分波前中最主要的误差项,波前重建后主要导致几何光程球差和彗差,探测器倾斜彗差。重建波前误差随着NA、d的增加而迅速增大,随着s的减小而增大。特别是小剪切(s≤0.05)时,波前重建对系统误差有增益效应,重建波前的系统误差值远大于差分波前。小剪切情况下,当d>2μm、NA>0.1时,重建波前误差的均方根值远大于1nm。
- 李杰唐锋王向朝戴凤钊冯鹏
- 关键词：ZERNIKE多项式
- 光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法
- 一种光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法，该装置包括光刻机的光源、照明系统、掩模台、投影物镜、工件台和计算机，还包括物面光栅板、波像差传感器。利用该装置原位检测光刻机的成像质量：波像差、畸变与场曲，提高了成像质量检测的...
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- 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
- 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密...
- 唐锋王向朝冯鹏郭福东卢云君
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