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郭福东

作品数：43 被引量：31H指数：5
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 33篇专利
  • 9篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 15篇机械工程
  • 10篇理学
  • 4篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇核科学技术

主题

  • 13篇干涉仪
  • 10篇子孔径
  • 8篇运动控制
  • 8篇运动控制器
  • 8篇子孔径拼接
  • 8篇控制器
  • 6篇电机
  • 6篇电机驱动
  • 6篇电机驱动器
  • 6篇驱动器
  • 6篇光学
  • 6篇波像差
  • 5篇信号
  • 5篇物镜
  • 5篇相移
  • 5篇控制系统
  • 4篇光刻
  • 4篇光学元件
  • 4篇测量方法
  • 3篇运动控制系统

机构

  • 43篇中国科学院上...
  • 7篇中国科学院大...
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  • 2篇上海束能辐照...
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 43篇郭福东
  • 39篇王向朝
  • 38篇唐锋
  • 22篇卢云君
  • 10篇冯鹏
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  • 1篇李中梁
  • 1篇步扬
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传媒

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  • 1篇光学精密工程
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇光学学报

年份

  • 2篇2024
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  • 4篇2022
  • 4篇2021
  • 2篇2020
  • 5篇2019
  • 7篇2018
  • 10篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2014
共 43 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
双孔点衍射干涉成像系统波像差检测技术研究被引量：5
2021年
提出了一种用于测量高精度成像系统的双孔点衍射干涉仪,具有高光场均匀性、高可测量数值孔径、准共光路、相移元件在系统成像光路以外的优点。设计了两种测量模式,点衍射测量模式和系统误差测量模式,其中系统误差模式用于标定干涉仪的系统误差。分别搭建了双孔点衍射干涉和双光纤点衍射干涉的实验装置,完成了对设计波像差小于0.045λ RMS,5×透射式投影物镜的检测实验。实验结果表明,与双光纤点衍射干涉仪对比,双孔点衍射的波像差测量相对误差为0.07 nm RMS,且干涉图具有更加良好的光强均匀性。验证了本文检测技术的有效性。
冯鹏唐锋唐锋卢云君王向朝郭福东卢云君
平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法
一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法，测量装置包括：平面干涉仪，平面干涉仪支架，安装平台，XY二维运动拼接位移台，俯仰偏摆角二维调节台，偏摆角测量系统，俯仰角测量系统，被测平面光学元件；本发明在平面面形子孔径拼接...
唐锋卢云君王向朝郭福东
光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器...
李杰唐锋王向朝吴飞斌张国先郭福东
文献传递
位移台通用运动控制系统
一种位移台通用运动控制系统，包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、运动执行机构和可编程电平转换电路板，所述的上位机与运动控制器通信连接；该运动控制器的控制信号输出端与所述的电机驱动器的输入端相连；该电机驱动器的输出端...
郭福东王向朝唐锋
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分体式低功耗相机
一种分体式低功耗相机，包括散热结构,图像传感器、模数转换芯片、第一串行器/解串芯片、逻辑控制单元、第二串行器/解串芯片和长线缆。本发明优点是采用全双工串行器/解串芯片实现了相机光敏部分与控制部分的长线传输，从而将相机拆分...
郭福东唐锋王向朝
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光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器...
李杰唐锋王向朝吴飞斌张国先郭福东
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采用多探测器的光场光强分布测量方法
一种采用多探测器的光场光强分布测量方法，该方法利用的系统包括光电传感单元、精密扫描台、信号处理与控制单元；采用的光电传感单元1包含2个以上的点探测器；精密扫描台带动光电传感单元扫描实现待测光场时，至少有一个参考探测器位于...
唐锋王向朝郭福东
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一种光功率可调衰减装置
一种光功率可调衰减装置，其特征在于构成包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、电机卡座、挡光片、限位开关挡块、限位开关、限位开关固定座、入射光纤、光纤准直接头、光纤准直/耦合固定基座、光纤耦合接头、输出光纤。本发明优点...
郭福东唐锋王向朝
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位移台通用运动控制系统
一种位移台通用运动控制系统，包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、运动执行机构和可编程电平转换电路板，所述的上位机与运动控制器通信连接；该运动控制器的控制信号输出端与所述的电机驱动器的输入端相连；该电机驱动器的输出端...
郭福东王向朝唐锋
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偏振同步相移干涉仪
一种偏振同步相移干涉仪，包括偏振干涉仪和同步相移模块；同步相移模块包括非偏振分束器，第一检偏器阵列，第二检偏器阵列或检偏器，第一光电探测器阵列和第二光电探测器阵列。本发明采用2个光电探测器阵列实现3个以上相移量干涉图的同...
唐锋王向朝冯鹏郭福东
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