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苗涛
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
张军
沈阳芯源微电子设备有限公司
张怀东
沈阳芯源微电子设备有限公司
施强
沈阳芯源微电子设备有限公司
刘正伟
沈阳芯源微电子设备有限公司
王绍勇
沈阳芯源微电子设备有限公司
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张军
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶片 半导体晶片 控制程序 连接板 轴承座
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张怀东
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶片 芯片制造 喷嘴 均匀性 显影
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陈焱
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:掩膜板 硅片 平板显示器 光刻胶 薄片状
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王绍勇
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体设备 晶圆 变型 半导体 安全传送
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李东海
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体晶片 星型结构 六边形 显影 涂胶
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施强
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体设备 风扇控制器 风口 阀板 稳压器
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郑春海
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:集成电路制造 晶圆 涂胶 硅片 晶片
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刘正伟
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶片 激光传感器 控制精度 伺服控制系统 光电传感器
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徐春旭
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶圆 药液 半导体制程 化学品 液罐
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宗润福
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:显影 工艺过程 集成电路制造 基片 立式
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