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张军

作品数：12 被引量：1H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇晶片
  • 3篇制程
  • 3篇气缸
  • 3篇轴承
  • 3篇轴承座
  • 3篇连接板
  • 3篇控制程序
  • 3篇半导体
  • 3篇半导体晶片
  • 2篇电路
  • 2篇数据传输
  • 2篇通讯接口
  • 2篇喷嘴
  • 2篇片盒
  • 2篇驱动电路
  • 2篇接口
  • 2篇集成电路
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇分配泵

机构

  • 12篇沈阳芯源微电...

作者

  • 12篇张军
  • 5篇侯宪华
  • 3篇赵宇
  • 3篇刘贺祥
  • 3篇董文博
  • 2篇苗涛
  • 1篇李东海
  • 1篇郑春海
  • 1篇徐春旭
  • 1篇张怀东
  • 1篇宗润福
  • 1篇陈焱
  • 1篇王绍勇
  • 1篇刘正伟

传媒

  • 1篇中国高新科技

年份

  • 1篇2020
  • 2篇2018
  • 1篇2012
  • 3篇2010
  • 2篇2009
  • 3篇2008
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
扫描清洗装置
本实用新型涉及半导体晶片加工过程中对晶片清洗的技术，具体地说是一种实现对晶片表面进行清洗的扫描清洗装置，可解决传统的清洗结构喷射角度、位置固定而容易产生死角等问题。该装置设有喷嘴马达、主轴马达、承片台、喷嘴、喷嘴轴、喷嘴...
侯宪华张军
文献传递
半导体晶片自动对中机构
本发明涉及在半导体晶片加工过程中对晶片对中并实现晶片升降的技术，即机械对中及升降机构，具体为一种半导体晶片自动对中机构，可以解决晶片对中精度的控制上难度较大等问题，它是满足半导体晶片加工对中精度要求的自动对中方式。该对中...
侯宪华张军
文献传递
半导体晶片自动对中机构
本发明涉及在半导体晶片加工过程中对晶片对中并实现晶片升降的技术，即机械对中及升降机构，具体为一种半导体晶片自动对中机构，可以解决晶片对中精度的控制上难度较大等问题，它是满足半导体晶片加工对中精度要求的自动对中方式。该对中...
侯宪华张军
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一种晶片盒扫描控制装置及其控制方法
本发明涉及一种晶片盒扫描控制装置及其控制方法，该装置具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机；该方法包括以下步骤：回零点，将升降台运行到片盒基准位；判断上是否有片盒...
张军赵宇董文博刘贺祥
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一种基于单片机的开关回吸阀数字控制系统及其控制方法
本发明涉及一种基于单片机的开关回吸阀数字控制系统，单片机控制单元连接上位机，用于接收上位机的控制指令；单片机控制单元连接开关阀控制电气比例阀，向开关阀控制电气比例阀发送开关阀模拟控制电压，控制开关阀控制电气比例阀的通断；...
张军
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一种高精度光刻胶分配泵控制装置及其控制方法
本发明涉及一种高精度光刻胶分配泵控制器及其控制方法，该装置包括：主控电路，具有执行控制程序的第1处理器，其将输入的选择命令和/或控制信号通过通讯接口与泵驱动电路进行通讯连接；泵驱动电路，由第2处理器接收主控电路的控制信号...
赵宇张军董文博刘贺祥
扫描清洗装置
本发明涉及半导体晶片加工过程中对晶片清洗的技术，具体地说是一种实现对晶片表面进行清洗的扫描清洗装置，可解决传统的清洗结构喷射角度、位置固定而容易产生死角等问题。该装置设有喷嘴马达、主轴马达、承片台、喷嘴、喷嘴轴、喷嘴臂，...
侯宪华张军
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基于PLC控制的晶片盒中晶圆位置状态检测装置及方法
本发明涉及一种基于PLC控制的晶片盒中晶圆位置状态检测装置，上位机连接PLC，向PLC发送控制命令并接收PLC的反馈信息；PLC通过伺服驱动器连接伺服电机的输入端，发送脉冲输出控制信号到伺服电机，对伺服电机进行控制，伺服...
邹春太张军郭生华符平平
文献传递
自动集中监控系统在集成电路生产线中的应用被引量：1
2020年
介绍了自动集中监控系统(AMS)的主要架构、系统特点、监控设备类型和系统组成,通过多种监控分析图表,实现从不同视角监控生产过程状态,并分析了监测结果,证明了该设备监控系统具有较高的准确性和实用性。
苗涛张军姬小兵
关键词：AMS集成电路
集成电路制造匀胶显影设备
宗润福胡延兵徐春旭王绍勇郑春海张军苗涛陈焱张怀东李东海刘正伟
匀胶显影(又称Track系统)是集成电路制造的关键设备之一，用于集成电路制造光刻工艺中晶圆的涂胶和显影。该成果技术指标达到了预期目标：　　1.满足线宽工艺达到0.25微米　　2.涂胶考核均匀度：10000±25　　3.光...
关键词：
关键词：集成电路
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