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田小峰
作品数:
4
被引量:2
H指数:1
供职机构:
华南理工大学理学院应用物理系
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发文基金:
广东省自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
张昊
华南理工大学理学院应用物理系
刘小阳
华南理工大学机械与汽车工程学院...
陈蒲生
华南理工大学理学院应用物理系
冯文修
华南理工大学理学院应用物理系
曾绍鸿
华南理工大学理学院应用物理系
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张昊
供职机构:信息产业部电子第五研究所
研究主题:XN 介质膜 俄歇电子能谱 PECVD法 电学性能
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所获资助
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陈蒲生
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 热氮化 PECVD法
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冯文修
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 二氧化硅 超薄
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所获资助
研究领域
刘小阳
供职机构:华南理工大学机械与汽车工程学院机械电子工程系
研究主题:XN PECVD法 SIO 介质膜 俄歇电子能谱
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曾绍鸿
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:XN 轰击 SIO 晶体管 湿敏特性
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