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刘焕明
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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电子电信
金属学及工艺
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合作作者
周静涛
中国科学院微电子研究所
杨成樾
中国科学院微电子研究所
申华军
中国科学院微电子研究所
刘新宇
中国科学院微电子研究所
李博
中国科学院微电子研究所
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周静涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:肖特基二极管 硅基 钝化层 肖特基 太赫兹
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杨成樾
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 肖特基二极管 微波等离子体 肖特基接触
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申华军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 刻蚀 欧姆接触 INGAP/GAAS_HBT 肖特基二极管
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
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李博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SRAM 二次谐波 绝缘体上硅 背栅 反相器
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 肖特基二极管 SIC
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汤益丹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 含氧气体 肖特基接触
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张慧慧
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅基 光子晶体 线缺陷 三角晶格 成品率
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吴德馨
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:ALGAN/GAN HEMT INGAP/GAAS_HBT 欧姆接触 HBT
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贾锐
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:太阳能电池 太阳电池 背接触 探测器 N型
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