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陈明琪

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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吴佛春
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：储氢合金 储氢 超纯 反应离子刻蚀 毫微秒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严金龙
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SI 反应离子刻蚀 ISOLATION 硅 SILICON
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何德湛
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：半导体器件 集成电路 双极集成电路 焊料 管芯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆锦兰
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：反应离子刻蚀 隔离区 隔离层 化学机械抛光 多晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐元森
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：芯片 微芯片 CMOS 聚合酶链式反应 寡核苷酸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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