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袁卫华
作品数:
3
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H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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合作作者
钟新华
中国电子科技集团公司第四十八研...
龙会跃
中国电子科技集团公司第四十八研...
彭立波
中国电子科技集团公司第四十八研...
胡振东
中国电子科技集团公司第四十八研...
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钟新华
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子注入机 系统设计 系统模型 温度控制器 控制器设计
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胡振东
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:磁透镜 红外测温 多输入多输出系统 离子注入 系统设计
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彭立波
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子注入机 磁控溅射 离子注入 离子源 高温
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龙会跃
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:温度控制器 系统模型 红外辐射 快速退火 温度测量
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