2024年8月23日
星期五
|
欢迎来到维普•公共文化服务平台
登录
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
索思卓
作品数:
7
被引量:12
H指数:1
供职机构:
北京有色金属研究总院
更多>>
发文基金:
国家高技术研究发展计划
更多>>
相关领域:
电子电信
更多>>
合作作者
库黎明
北京有色金属研究总院
闫志瑞
北京有色金属研究总院
周旗钢
北京有色金属研究总院
陈海滨
北京有色金属研究总院
葛钟
北京有色金属研究总院
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
人物
机构
主题
传媒
资助
领域
任意字段
机构
人物
主题
传媒
资助
领域
任意字段
在结果中检索
领域
10个
电子电信
2个
金属学及工艺
2个
机械工程
2个
理学
1个
经济管理
1个
动力工程及工...
1个
一般工业技术
1个
文化科学
主题
9个
抛光
9个
化学机械抛光
9个
机械抛光
9个
硅片
9个
SI
7个
使用期
7个
抛光垫
7个
HAZE
6个
损伤层
6个
硅片表面
4个
单晶
4个
倒片
4个
数学模拟
4个
退火
4个
平整度
3个
单晶硅
3个
电路
3个
氧化层
3个
硅片清洗
2个
单晶硅片
机构
10个
北京有色金属...
2个
有色金属研究...
资助
4个
国家高技术研...
4个
国家科技重大...
3个
国际科技合作...
2个
国家自然科学...
1个
天津市自然科...
1个
河北省教育厅...
1个
河北省自然科...
传媒
9个
半导体技术
7个
微电子学
5个
稀有金属
3个
Journa...
3个
中国有色金属...
3个
第十五届全国...
3个
中国有色金属...
2个
电子工业专用...
2个
2014`全...
1个
物理学报
1个
光散射学报
1个
人工晶体学报
1个
中国稀土学报
1个
中国有色金属...
1个
新材料产业
1个
中国材料进展
1个
第十一届全国...
1个
中国有色金属...
1个
第九届中国国...
1个
TFC’09...
地区
10个
北京市
共
10
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
库黎明
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
闫志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
陈海滨
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
葛钟
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片表面 SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
盛方毓
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 硅片清洗 加热室 化学机械抛光 抛光垫
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
黄军辉
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:300MM硅片 DSP 非均匀性 SI 化学机械抛光
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
阎志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:异丙醇 干燥法 硅片 SI 化学机械抛光
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
常青
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
张国栋
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张