您的位置： 专家智库 > >

索思卓

作品数：7 被引量：12H指数：1
供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 10个电子电信
  • 2个金属学及工艺
  • 2个机械工程
  • 2个理学
  • 1个经济管理
  • 1个动力工程及工...
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学

主题

  • 9个抛光
  • 9个化学机械抛光
  • 9个机械抛光
  • 9个硅片
  • 9个SI
  • 7个使用期
  • 7个抛光垫
  • 7个HAZE
  • 6个损伤层
  • 6个硅片表面
  • 4个单晶
  • 4个倒片
  • 4个数学模拟
  • 4个退火
  • 4个平整度
  • 3个单晶硅
  • 3个电路
  • 3个氧化层
  • 3个硅片清洗
  • 2个单晶硅片

机构

  • 10个北京有色金属...
  • 2个有色金属研究...

资助

  • 4个国家高技术研...
  • 4个国家科技重大...
  • 3个国际科技合作...
  • 2个国家自然科学...
  • 1个天津市自然科...
  • 1个河北省教育厅...
  • 1个河北省自然科...

传媒

  • 9个半导体技术
  • 7个微电子学
  • 5个稀有金属
  • 3个Journa...
  • 3个中国有色金属...
  • 3个第十五届全国...
  • 3个中国有色金属...
  • 2个电子工业专用...
  • 2个2014`全...
  • 1个物理学报
  • 1个光散射学报
  • 1个人工晶体学报
  • 1个中国稀土学报
  • 1个中国有色金属...
  • 1个新材料产业
  • 1个中国材料进展
  • 1个第十一届全国...
  • 1个中国有色金属...
  • 1个第九届中国国...
  • 1个TFC’09...

地区

  • 10个北京市
共 10 条 记 录，以下是 1-10
库黎明
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫志瑞
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈海滨
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
葛钟
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片表面 SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
盛方毓
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 硅片清洗 加热室 化学机械抛光 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周旗钢
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄军辉
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：300MM硅片 DSP 非均匀性 SI 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阎志瑞
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：异丙醇 干燥法 硅片 SI 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
常青
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张国栋
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0