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杨晋玲
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中国科学院半导体研究所
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国家自然科学基金
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合作作者
杨富华
中国科学院半导体研究所
朱银芳
中国科学院半导体研究所
袁泉
中国科学院半导体研究所
张金英
中国科学院半导体研究所
毛旭
中国科学院半导体研究所
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 相变材料
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朱银芳
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:高灵敏 电极 惠斯通电桥 圆片级 原胚
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袁泉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:谐振器 模态 谐振结构 动态电阻 RF-MEMS
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张金英
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:微悬臂梁 压阻 洛伦兹力 探针 磁场
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毛旭
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:可变光衰减器 键合 光孔 消色差 式微
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赵晖
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:锚点 微机械谐振器 电极 频率可调 谐振器
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魏伟伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:可变光衰减器 光孔 式微 洛伦兹力 磁场
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骆伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:锚点 微机械谐振器 频率可调 电极 MEMS振荡器
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解婧
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:光刻胶 MEMS器件 淀积 电化学腐蚀 原电池
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王晶晶
供职机构:天津市肿瘤研究所
研究主题:高灵敏 微悬臂 生化传感器 传感系统 肝癌标志物
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