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袁泉
作品数:
28
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
杨晋玲
中国科学院半导体研究所
杨富华
中国科学院半导体研究所
骆伟
中国科学院半导体研究所
赵晖
中国科学院半导体研究所
张晓青
北京信息科技大学
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微纳射频器件及其制备方法
一种微纳射频器件及制备方法,方法包括:在SOI片上生长隔离层;图形化隔离层,以在SOI片上形成谐振单元、电极引线、信号屏蔽层及封装环;在谐振单元的侧壁生长微纳级间隔层;去除电极引线、信号屏蔽层及封装环表面的隔离层,在SO...
陈泽基
杨晋玲
袁泉
刘文立
杨富华
文献传递
阵列化的平面剪切模态射频微机电谐振器
本发明公开了一种阵列化的平面剪切模态射频微机电谐振器,包括:配置为工作在平面剪切模态下的谐振单元,该谐振单元的顶角处的振动幅度最大,且边缘处具有位移节点,与配置为工作在长度拉伸模态的耦合梁,共同组成阵列式谐振结构;支撑梁...
陈泽基
阚枭
王天昀
袁泉
杨晋玲
杨富华
基于模态重分布的MEMS谐振器及其调节方法
本公开提供了一种基于模态重分布的MEMS谐振器,包括:衬底;支撑结构,一端固定在所述衬底上;谐振单元,设有调整装置,所述谐振单元与支撑结构的另一端相连;电极,与所述谐振单元电连接,所述电极设置在所述谐振单元的侧面、上表面...
贾倩倩
杨晋玲
袁泉
陈泽基
刘文立
杨富华
文献传递
基于电化学腐蚀的MEMS谐振器频率修调方法
一种基于电化学腐蚀的MEMS谐振器频率修调方法,该方法包括将MEMS谐振器与金属电极相连后放入电解质溶液中,其中,金属电极与MEMS谐振器的谐振单元在电解质溶液中形成原电池,使谐振单元发生电化学腐蚀反应形成多孔结构,从而...
王天昀
杨晋玲
陈泽基
贾倩倩
袁泉
杨富华
文献传递
基于体声波振动模态耦合的RF-MEMS谐振器
一种基于体声波振动模态耦合的RF‑MEMS谐振器,包括:工作在体声波振动模态下的环状谐振单元、工作在长度拉伸模态下,与谐振单元振动频率一致的耦合梁、可配置在单路和/或差分模式下的驱动/检测电极、电极与谐振单元之间的换能介...
王天昀
陈泽基
阚枭
袁泉
杨晋玲
杨富华
文献传递
频率可调的MEMS滤波器
一种频率可调的MEMS滤波器,包括:多个谐振单元,该多个谐振单元通过振动位移节点处的支撑梁或者锚点支撑;多个耦合梁,该每一耦合梁的两端连接至相邻的谐振单元;多个电极,该多个电极位于谐振单元的周围,与谐振单元之间有一间隙。...
骆伟
袁泉
赵晖
杨晋玲
杨富华
文献传递
频率可调的MEMS谐振器
一种频率可调的MEMS谐振器,包括:一谐振单元,为圆盘形、圆环形或对称多边形结构,其中心为振动位移节点,该谐振单元由一位于位移节点处的支撑锚点支撑,该谐振单元的表面设有多个微结构;多个电极,其位于谐振单元的外围或上方,各...
骆伟
赵晖
袁泉
杨晋玲
杨富华
文献传递
多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用
一种多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用,该多梁结构组合的射频微机电系统谐振器包括机电转换梁单元,其为所述谐振器输入端和输出端的换能组件;能量传输梁,其为所述机电转换梁单元的连接结构;电极,其为施加驱动激励;介质层,...
陈泽基
王天昀
阚枭
袁泉
杨晋玲
杨富华
文献传递
基于压阻检测的谐振器单元及系统
本公开提供一种基于压阻检测的谐振器单元,包括:谐振体;电极,设置于所述谐振体外围,通过机电转换介质层与所述谐振体相隔;多个压力敏感电阻,分别对称设置于所述谐振体边缘应力最大处的上表面;以及支撑梁,一端对应所述压力敏感电阻...
刘文立
杨晋玲
袁泉
陈泽基
杨富华
文献传递
一种封装结构及其应用
一种封装结构,包括:封装盖片,配置为覆盖欲封装的器件;封装环,设置在封装盖片欲进行封装的一侧,用于实现欲封装的器件的气密性封装;平面引线和/或垂直引线,用于实现欲封装的器件内外电学互连:当设置平面引线时,平面引线设置在封...
赵继聪
袁泉
杨晋玲
杨富华
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