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徐立松
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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合作作者
李佩玥
中国科学院长春光学精密机械与物...
隋永新
中国科学院长春光学精密机械与物...
杨怀江
中国科学院长春光学精密机械与物...
葛川
中国科学院长春光学精密机械与物...
尹志生
中国科学院长春光学精密机械与物...
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李佩玥
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:压电陶瓷 电容传感器 压电陶瓷驱动 压电驱动器 压电陶瓷驱动器
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隋永新
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 光学检测 光学加工
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杨怀江
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 投影物镜 光学检测
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葛川
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:压电陶瓷 线性度 电容传感器 激光干涉仪 压电陶瓷驱动器
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尹志生
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:抛光液 电容传感器 电路设计 FPGA VME总线
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李朋志
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:压电陶瓷驱动器 压电陶瓷 电容传感器 压电驱动器 激光干涉仪
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章明朝
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:日盲紫外 系统设计 压电陶瓷 ARM FPGA
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郑楠
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:压电陶瓷驱动器 压电驱动器 抛光液 数字信号传输 VME总线
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崔洋
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:数字信号传输 光学制造 抛光液 气体 环境控制
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王学亮
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:压电陶瓷 光学元件 压电陶瓷驱动器 投影光刻物镜 镜框
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