葛川
- 作品数：25 被引量：109H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程医药卫生更多>>
- 高精度DA电路的设计与实现被引量：12
- 2014年
- 高精度的DA电路在电路系统中具有重要的作用,微纳驱动控制领域,压电陶瓷驱动电路中前级数模转换电路的精度对整个系统的性能有显著的影响。详细阐述了高精度数模转换系统设计、实现及测试的全过程。首先,对硬件系统进行详细的设计,这些设计主要是针对低噪声的需求而展开;其次,以DA芯片PCM1702的串行接口为例,详细的阐述了使用GPIO模拟芯片串行接口的设计理念,并通过实际编程予以实现;最后,使用HP2458a万用表对设计的系统进行测试,以检测系统的性能。测试表明,设计的系统输出电压纹波为130μV,输出电压分辨率为100μV,该设计结果满足系统在低噪声系统中的应用。
- 徐立松李佩玥葛川章明朝
- 关键词：数模转换压电陶瓷
- 压电驱动器的开闭环迭代学习控制被引量：11
- 2014年
- 由于开闭环迭代学习控制方法能在加快收敛速度的情况下降低跟踪误差,本文利用该控制方法来提高压电驱动器(PZT)的高频轨迹跟踪精度。首先,提出了离散时间下的开环P型结合闭环PI型的迭代学习律,并且给出了基于该学习律的收敛性条件。然后,设计了用于PZT系统的离散开闭环迭代学习控制器。最后,针对50Hz单频和25Hz+50Hz复频三角波轨迹进行了跟踪控制实验。实验结果表明:所提出的迭代学习控制器对上述2种轨迹的最大跟踪误差分别为10.6nm和12.5nm,相对于PID控制器,分别降低了96.25%和95.62%。结果显示:提出的控制方法易于实现,无需准确的PZT迟滞和系统模型就可以获得很高的跟踪精度,能有效地满足高频和复频轨迹跟踪的精度要求。
- 李朋志闫丰葛川李佩玥隋永新杨怀江
- 关键词：压电驱动器PZT迭代学习控制
- 一种数字驱动电源
- 本发明涉及压电陶瓷驱动控制技术领域，具体公开一种数字驱动电源。本发明设计的数字驱动电源，首先使用电流放大电路改善高压放大器的低频特性，其次使用数模转换电路作为模拟信号和数字信号的接口，再利用低功耗的数字控制的电路实现对算...
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- 文献传递
- 一种压电陶瓷的驱动放大电路
- 一种压电陶瓷的驱动放大电路，涉及压电陶瓷驱动控制领域，具体地说是一种压电陶瓷驱动放大器，它可以灵活的组成压电陶瓷电源。本发明的压电陶瓷放大器，在保证驱动效果的同时，有效的降低了成本，同时也保证电路应用的便利性。本发明依据...
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- 文献传递
- 内置应变片式压电陶瓷的位移检测装置及检测方法
- 内置应变片式压电陶瓷的位移检测装置及检测方法，涉及位移测量领域，解决现有对压电陶瓷运动过程中的应变片位移检测过程中，存在由于磁滞以及蠕变引起的压电陶瓷驱动器开环精度低的问题，包括安装压电陶瓷，调节激光干涉仪光路，控制高压...
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- 文献传递
- 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定被引量：18
- 2015年
- 由于光刻投影物镜装调中电容传感器的线性度指标不能够满足位移调节精度的需求,本文提出了一种提高电容传感器测量线性度的方法。该方法采用压电驱动器提供位移进给;采用高精度激光测长干涉仪校准电容传感器的线性度,提供位移反馈以保证运动控制精度。采用高阶曲线拟合方法得到拟合系数对传感器线性度进行在线标定;对标定实验中的环境、安装、机构以及控制等进行不确定度分析与评定以保证电容传感器的线性度测量精度;最后进行电容传感器线性度的标定实验。实验结果表明:本文提出的线性度标定方法能够减小各误差项对于测量结果的影响,标定后传感器线性度由0.047 14%提高至0.004 84%,近一个数量级,并且线性度重复性较高,重复性偏差为0.38nm,全行程内线性度的合成不确定度为5.70nm,能够满足光刻物镜中位移控制精度的需求。
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- 关键词：电容传感器位移传感器线性度不确定度
- 一种微位移传感器标定装置及其应用
- 本发明涉及高精度位移检测标定技术领域，具体公开一种微位移传感器标定装置及其应用，标定装置包括被标定传感器、激光干涉仪、四杆机构、压电叠堆、被测目标物以及固定底座；四杆机构包括上侧杆件、下侧杆件、左侧杆件以及右侧杆件，下侧...
- 郭抗葛川陈华男倪明阳隋永新杨怀江
- 文献传递
- 气动光学变形镜系统的控制方法
- 气动光学变形镜系统的控制方法，属于超精密光学应用控制领域。该方法先拟合系统开环情况下稳定时的输入和输出数据的线性关系，确定前馈控制器的前馈系数；然后根据该系统的期望位移计算前馈控制器的输出量；然后比较期望位移与位移传感器...
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- 文献传递
- 压电陶瓷驱动器迟滞系统的开环模糊控制方法
- 压电陶瓷驱动器迟滞系统的开环模糊控制方法，涉及超精密光学应用中的控制领域，解决现有PZT迟滞系统的迟滞模型构造的开环控制器适应性差，且无法有效补偿率相关迟滞特性对系统控制精度的影响等问题，本发明包括获取压电陶瓷驱动器系统...
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- 文献传递
- 一种微位移传感器标定装置及其应用
- 本发明涉及高精度位移检测标定技术领域，具体公开一种微位移传感器标定装置及其应用，标定装置包括被标定传感器、激光干涉仪、四杆机构、压电叠堆、被测目标物以及固定底座；四杆机构包括上侧杆件、下侧杆件、左侧杆件以及右侧杆件，下侧...
- 郭抗葛川陈华男倪明阳隋永新杨怀江
- 文献传递
