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尹志生

作品数：16 被引量：33H指数：3
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇期刊文章
  • 7篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 7篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇电路
  • 4篇抛光
  • 4篇抛光液
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇电容传感器
  • 2篇电路设计
  • 2篇电路应用
  • 2篇电压放大
  • 2篇电压放大电路
  • 2篇电源
  • 2篇多功能泵
  • 2篇信号
  • 2篇信号传输
  • 2篇压电
  • 2篇压电驱动
  • 2篇压电驱动器
  • 2篇压电陶瓷
  • 2篇压电陶瓷驱动

机构

  • 16篇中国科学院长...
  • 3篇中国科学院大...
  • 1篇长沙湘计海盾...

作者

  • 16篇尹志生
  • 13篇李佩玥
  • 8篇崔洋
  • 8篇隋永新
  • 7篇郑楠
  • 6篇杨怀江
  • 6篇徐立松
  • 3篇王绍治
  • 3篇闫丰
  • 3篇于淼
  • 3篇冯佳
  • 2篇李朋志
  • 2篇章明朝
  • 2篇彭吉
  • 2篇王学亮
  • 2篇葛川
  • 1篇陈华男
  • 1篇刘春来
  • 1篇郭抗

传媒

  • 2篇电子测量技术
  • 2篇电子测量与仪...
  • 2篇传感器与微系...
  • 1篇国外电子测量...
  • 1篇现代电子技术

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 7篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于反馈的交流激励式电容测量电路设计被引量：9
2014年
针对交流激励式电容测量电路抗干扰能力差及测量精度受激励源稳定性影响的问题,提出了一种前级加反馈的电容测量电路设计。首先,将传感器输出电压引出,乘以合适的倍数,加到初始激励源。然后,利用模拟乘法器和低通滤波器进行检波。最后,用八位半数字表3458A采集测量结果。实验结果表明,该系统在0~650μm范围内分辨率达30nm,电路测量最大偏差为20nm,示值稳定性0.1mV/30min。该系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。
冯佳李佩玥徐立松尹志生隋永新
关键词：电容传感器反馈电路
调幅式电容位移传感器开关检波电路设计被引量：2
2015年
针对调幅式电容位移传感器乘法器检波存在的速度慢、功耗大和热噪声大问题,设计了一种基于模拟开关的全波检波电路。首先,对开关全波检波和开关半波检波原理进行分析,根据分析结果选择了全波检波方法。在此基础上,完成开关全波检波电路设计与测量系统其它部分设计。最后,利用八位半数字表3458A对检波电路与测量系统性能指标进行测试。测试结果表明：检波电路可以实现0.1 m V的分辨率,测量系统在150~650μm范围内分辨率达30 nm,系统示值稳定性0.1 m V/30 min,电容测量系统最大测量偏差为20 nm。该测量系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。
冯佳李佩玥徐立松尹志生隋永新
关键词：电容位移传感器调幅检波电路
工件偏心检测系统的设计与实现被引量：3
2014年
工件偏心检测在光学系统装调中有重要作用,设计并实现了工件的偏心检测系统。首先,依据实验室的条件设计了工件偏心检测系统的整体方案;其次,对测量系统进行数学建模,对建立的检测模型进行数学分析,说明检测的可能性,同时通过实际的数据采集证明了数学分析的准确性,依据测量原理的数学分析,提出使用最小二乘法从检测信号中拟合待测信号,并通过仿真实验证明这种方法的可行性;再次,在MFC架构下使用Signallib及MATLAB静态库生成工具编写偏心检测软件,使用编写的软件采集数据,并对数据进行分析,证明了提出检测方法的可行性及软件系统的可靠性;最后,重新分析整个测量原理的假设,提出了降低假设要求而提高测量效果的方法。实验证明偏心检测系统具备良好的检测效果,同时设计的软件系统具备良好的数据可视化能力,工件偏心检测系统的分析和设计思路可以广泛地应用于系统检测中。
徐立松尹志生刘春来李朋志李佩玥
关键词：最小二乘法MFC
一种智能抛光液供给循环装置
一种智能抛光液供给循环装置属于光学冷加工技术领域，该装置包括支撑壳体、多功能泵组、电磁切换阀组、抛光液恒温控制单元、人机交互单元、精密过滤单元、多个传感器单元、液压控制回路、清洗液储存箱、输出口、回收入口和智能数字控制器...
尹志生崔洋郑楠于淼王绍治李佩玥隋永新杨怀江
文献传递
一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构
一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构属于光刻投影物镜控制领域，目的在于解决现有技术存在的压电驱动器产生的热功率影响成像质量、电容传感器无法进行远距离传输和调节时间长的问题。本发明包括控制机箱、功放机箱、电平转换机箱、...
李佩玥崔洋尹志生郑楠王学亮
文献传递
一种压电陶瓷的驱动放大电路
一种压电陶瓷的驱动放大电路，涉及压电陶瓷驱动控制领域，具体地说是一种压电陶瓷驱动放大器，它可以灵活的组成压电陶瓷电源。本发明的压电陶瓷放大器，在保证驱动效果的同时，有效的降低了成本，同时也保证电路应用的便利性。本发明依据...
徐立松李佩玥葛川尹志生隋永新杨怀江
文献传递
一种光学加工用抛光液恒温供给装置及温度控制方法
一种光学加工用抛光液恒温供给装置及温控方法属于光学加工技术领域，该装置包括制冷单元、加热单元、内循环回路和控制单元，所述制冷单元用于将抛光液的温度降低到设定值，制冷单元包括压缩机、冷交换器、散热器和膨胀阀；所述内循环回路...
崔洋陈华男尹志生李佩玥彭吉王绍治隋永新杨怀江
文献传递
基于FPGA的VME总线与DSP通信接口设计被引量：2
2012年
VME总线作为最早的国际通用开放式总线,已广泛应用到工业过程控制、军事应用等各个领域。但是由于VME总线的结构复杂,在开发基于VME总线的DSP工控系统中,DSP与VME总线的通信接口设计成为了瓶颈问题。为此,根据VME总线协议要求,采用FPGA完成了VME总线与DSP通信接口的IP核设计,并进行了电路板研制和通信功能的测试,实现了DSP处理器与VME总线的数据传输。
尹志生郑楠崔洋闫丰
关键词：VME总线DSPFPGA双口RAM
一种智能抛光液供给循环装置
一种智能抛光液供给循环装置属于光学冷加工技术领域，该装置包括支撑壳体、多功能泵组、电磁切换阀组、抛光液恒温控制单元、人机交互单元、精密过滤单元、多个传感器单元、液压控制回路、清洗液储存箱、输出口、回收入口和智能数字控制器...
尹志生崔洋郑楠于淼王绍治李佩玥隋永新杨怀江
文献传递
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究被引量：9
2016年
根据极大规模集成电路制造对光刻物镜中敏感光学元件调节机构高精度的调整要求,研究设计了一套基于双频激光干涉仪的高精度六自由度位姿检测测量系统。但由于双频激光干涉仪是一种线性增量式的测长仪器,其固有的机械安装误差及运动平台在工作过程中引入的倾斜或旋转运动都将导致测量光程的变化而产生阿贝误差与余弦误差。为此,根据系统测量原理,采用解析法基于空间齐次变换建立了系统误差补偿数学模型,并深入分析了装调误差对测量精度的影响,实现了调节机构六自由度运动的高精度测量。
尹志生李友如李佩玥郭抗李朋志
关键词：双频激光干涉仪误差补偿
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