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孙方
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供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
冯伯儒
中国科学院光电技术研究所
张锦
中国科学院光电技术研究所
侯德胜
中国科学院光电技术研究所
周崇喜
中国科学院光电技术研究所
陈芬
中国科学院光电技术研究所
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冯伯儒
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
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研究领域
张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
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供职机构
所获资助
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侯德胜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:相移掩模 光刻 激光直写 光刻掩模 衰减相移掩模
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陈芬
供职机构:宁波大学信息科学与工程学院
研究主题:立体视频 视点 图像 立体图像 结构相似度
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供职机构
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周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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候德胜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:微透镜列阵 RF_MEMS开关 微机电系统 微波开关 大屏幕显示器
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