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刘小阳
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供职机构:
华南理工大学机械与汽车工程学院机械电子工程系
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发文基金:
广东省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
陈蒲生
华南理工大学理学院应用物理系
冯文修
华南理工大学理学院应用物理系
王川
四通公司
张昊
华南理工大学理学院应用物理系
曾绍鸿
华南理工大学理学院应用物理系
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陈蒲生
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 热氮化 PECVD法
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冯文修
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 二氧化硅 超薄
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王川
供职机构:华南理工大学
研究主题:PECVD法 SIO XN 介质膜 PECVD法制备
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张昊
供职机构:信息产业部电子第五研究所
研究主题:XN 介质膜 俄歇电子能谱 PECVD法 电学性能
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曾绍鸿
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:XN 轰击 SIO 晶体管 湿敏特性
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田小峰
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:XN SIO 俄歇电子能谱 红外光谱 硅膜
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章晓文
供职机构:工业和信息化部电子第五研究所
研究主题:可靠性 集成电路 热载流子注入效应 热载流子效应 电迁移
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黄世平
供职机构:香港中文大学
研究主题:SIO 二氧化硅 超薄 热氮化 SIC
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陈炽坤
供职机构:华南理工大学
研究主题:工程图学 教学改革 计算机应用 构型设计 素质教育
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刘剑
供职机构:华南理工大学
研究主题:活性炭 相变材料 微胶囊相变材料 吸附动力学 微胶囊
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