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冯伯儒
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109
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H指数:9
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中国科学院光电技术研究所
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合作作者
张锦
四川大学物理科学与技术学院物理...
侯德胜
中国科学院光电技术研究所
宗德蓉
中国科学院光电技术研究所
刘娟
中国科学院光电技术研究所
姚汉民
中国科学院光电技术研究所
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张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
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侯德胜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:相移掩模 光刻 激光直写 光刻掩模 衰减相移掩模
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刘娟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:掩模 高速通信 光刻技术 光刻系统 微电子机械系统
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宗德蓉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:声光调制器 光刻系统 干涉光刻 声光器件 超声频率
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姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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陈芬
供职机构:宁波大学信息科学与工程学院
研究主题:立体视频 视点 图像 立体图像 结构相似度
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供职机构
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研究领域
周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
发表作品
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供职机构
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孙方
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:衰减相移掩模 相移掩模 光致抗蚀剂 光刻分辨率 KRF准分子激光
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郭永康
供职机构:四川大学物理科学与技术学院
研究主题:光刻 惯性约束聚变 全息图 分数傅里叶变换 干涉光刻
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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