您的位置： 专家智库 > >

严金龙

作品数：7 被引量：18H指数：3
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

领域

  • 14个电子电信
  • 7个电气工程
  • 6个一般工业技术
  • 6个理学
  • 5个自动化与计算...
  • 4个金属学及工艺
  • 4个机械工程
  • 4个医药卫生
  • 3个生物学
  • 3个化学工程
  • 1个经济管理
  • 1个交通运输工程

主题

  • 12个半导体
  • 9个电路
  • 9个刻蚀
  • 9个反应离子
  • 9个硅
  • 8个碳化硅
  • 8个离子刻蚀
  • 8个集成电路
  • 8个反应离子刻蚀
  • 7个溅射
  • 6个半导体工艺
  • 5个多晶
  • 5个多晶硅
  • 4个抛光
  • 4个化学机械抛光
  • 4个机械抛光
  • 4个隔离层
  • 4个隔离区
  • 3个氮化
  • 3个氮化硅

机构

  • 18个中国科学院上...
  • 6个中国科学院
  • 2个复旦大学
  • 1个华东师范大学
  • 1个华东理工大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个天津大学
  • 1个华为技术有限...

资助

  • 7个国家自然科学...
  • 6个国家高技术研...
  • 5个上海市科学技...
  • 4个国家重点基础...
  • 3个上海市科学技...
  • 2个上海市科委纳...
  • 2个上海市自然科...
  • 1个德国洪堡基金
  • 1个上海市青年科...
  • 1个“上海－应用...
  • 1个博士科研启动...
  • 1个国家基础科学...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个上海-AM基...
  • 1个上海市科委重...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国科学院科...

传媒

  • 11个Journa...
  • 8个核技术
  • 7个功能材料与器...
  • 4个金属学报
  • 4个物理学报
  • 4个电子学报
  • 4个微电子学与计...
  • 4个应用科学学报
  • 3个科学通报
  • 3个高技术通讯
  • 3个中国生物医学...
  • 3个半导体光电
  • 2个中国科学（C...
  • 2个低温物理学报
  • 2个稀有金属材料...
  • 2个半导体技术
  • 2个化学学报
  • 2个光学学报
  • 2个红外与毫米波...
  • 2个无机材料学报

地区

  • 17个上海市
  • 1个广东省
共 18 条 记 录，以下是 1-10
陈学良
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：掺杂 双极型 硅 SI 集成电感
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘畅
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SI 集成电感 ISOLATION 硅 SILICON
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈国雄
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁控溅射 超大规模集成电路 半导体制造工艺 半导体工艺设备 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡根寿
供职机构：华东理工大学
研究主题：反应离子刻蚀 光致抗蚀剂 微电子学 紫外激光 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴佛春
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：储氢合金 储氢 超纯 反应离子刻蚀 毫微秒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柳襄怀
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任琮欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 超导薄膜 YBCO YBA 钼栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
顾伟东
供职机构：华为技术有限公司
研究主题：信号 削波 ALGAINP HBT 双极晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨立新
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：碳化硅 PECVD 硅 Β-SIC 晶态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈长清
供职机构：中国科学院上海冶金研究所
研究主题：碳化硅 PECVD 硅 Β-SIC 晶态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0