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沈国雄

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇会议论文
  • 1篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇经济管理

主题

  • 1篇等离子刻蚀
  • 1篇电路
  • 1篇电子工业
  • 1篇性能分析
  • 1篇企业
  • 1篇气相沉积
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子技术
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇结构形式
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻线机
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇集成电路
  • 1篇溅射
  • 1篇工业经济
  • 1篇盒式
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀

机构

  • 3篇中国科学院上...
  • 1篇华东师范大学

作者

  • 3篇沈国雄
  • 2篇严金龙
  • 2篇蔡根寿
  • 1篇汤德余
  • 1篇许春芳
  • 1篇吴钰铭

传媒

  • 1篇中国真空学会...

年份

  • 1篇1989
  • 1篇1986
  • 1篇1900
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
DY型片盒式反应离子刻蚀机及其应用
严金龙沈国雄蔡根寿
关键词：结构形式超大规模集成电路性能分析刻线机
自动传送片机构
本实用新型《自动传送片机构》是关于半导体工艺设备中传送片机构的改进，属于半导体制造工艺设备。它通过传送杆机械手和升降顶片杆与微机相联，能自动直接送片，片子处理加工完成后亦可连续取回。整个传送机构简单、操作方便，无碎片现象...
严金龙汤德余沈国雄吴钰铭蔡根寿
文献传递
微电子技术中企业、大学和研究所横向联合的研究
沈国雄许春芳赖宗声罗培卿汤世豪邹世昌李国祥葛林
微电子技术是一项资金、智力密集的高技术。该项成果以国内外微电子技术的发展历史与趋势为依据，从发展微电子技术的内部机制与外部环境两个方面，全面系统地论证了微电子技术领域横向联合的重要性与迫切性，对上海市微电子技术发展、现状...
关键词：
关键词：电子工业工业经济微电子技术
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