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蔡根寿

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：华东理工大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇刻蚀
  • 2篇反应离子
  • 2篇反应离子刻蚀
  • 1篇等离子刻蚀
  • 1篇电路
  • 1篇性能分析
  • 1篇气相沉积
  • 1篇紫外激光
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子学
  • 1篇结构形式
  • 1篇抗蚀剂
  • 1篇刻线机
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇激光
  • 1篇集成电路
  • 1篇溅射
  • 1篇光致

机构

  • 2篇中国科学院上...
  • 1篇华东理工大学

作者

  • 3篇蔡根寿
  • 2篇沈国雄
  • 2篇严金龙
  • 1篇汤德余
  • 1篇金晓英
  • 1篇吴钰铭
  • 1篇金桂林
  • 1篇施善定
  • 1篇黄均文

传媒

  • 1篇激光杂志
  • 1篇中国真空学会...

年份

  • 1篇1994
  • 1篇1989
  • 1篇1986
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
耐反应离子刻蚀的紫外激光光致抗蚀剂的研究被引量：1
1994年
以芳香族双迭氮基化合物为交联剂，苯氧基二苯甲酮为光敏剂，聚甲基丙烯酸甲酯（ＰＭＭＡ）为基质树脂，合成了负型激光光致抗蚀剂。该体系能够在氮分子激光辐照下发生灵敏的光致交联反应，所生成的致密薄膜可以耐四氟化碳等离子体的反应离子刻蚀（ＲＩＥ）。用付里叶变换红外光谱法与紫外光谱法研究了激光光致交联反应以及反应离子刻蚀的动力学过程。讨论了影响反应速率以及刻蚀选择比的诸因素。
金桂林金晓英施善定蔡根寿黄均文
关键词：反应离子刻蚀光致抗蚀剂微电子学
DY型片盒式反应离子刻蚀机及其应用
严金龙沈国雄蔡根寿
关键词：结构形式超大规模集成电路性能分析刻线机
自动传送片机构
本实用新型《自动传送片机构》是关于半导体工艺设备中传送片机构的改进，属于半导体制造工艺设备。它通过传送杆机械手和升降顶片杆与微机相联，能自动直接送片，片子处理加工完成后亦可连续取回。整个传送机构简单、操作方便，无碎片现象...
严金龙汤德余沈国雄吴钰铭蔡根寿
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