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汤德余

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇等离子刻蚀
  • 1篇气相沉积
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇溅射
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇半导体工艺设...
  • 1篇半导体制造
  • 1篇半导体制造工...
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇沈国雄
  • 1篇汤德余
  • 1篇吴钰铭
  • 1篇严金龙
  • 1篇蔡根寿

年份

  • 1篇1986
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
自动传送片机构
本实用新型《自动传送片机构》是关于半导体工艺设备中传送片机构的改进，属于半导体制造工艺设备。它通过传送杆机械手和升降顶片杆与微机相联，能自动直接送片，片子处理加工完成后亦可连续取回。整个传送机构简单、操作方便，无碎片现象...
严金龙汤德余沈国雄吴钰铭蔡根寿
文献传递
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